Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Использование планарного магнетрона для напыления ферромагнитных пленок микронной и нанометровой толщины
- Авторы
- Юрков Артур Николаевич , заведующий лабораторией, Институт общей физики им. Прохорова РАН, Россия. 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-87-22
Власова Татьяна Викторовна , научный сотрудник, Институт общей физики им. Прохорова РАН, Россия. 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-87-22
Крикунов Георгий Александрович , научный сотрудник, Институт общей физики им. Прохорова РАН, Россия. 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-87-22
Кононов Михаил Анатольевич , старший научный сотрудник, Институт общей физики им. Прохорова РАН, Россия. 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-87-22
- В разделе
- ЭЛЕКТРОННЫЕ И ИОННЫЕ ПУЧКИ
- Ключевые слова
- магнетрон / напыление / ферромагнитные пленки / распыление / подложка
- Год
- 2010 номер журнала 3 Страницы 103 - 108
- Индекс УДК
- УДК 538.975:537.6
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Материалы конференций
- Аннотация
- Представлен планарный магнетрон на постоянном токе с толстой никелевой, железной или стальной мишенью для напыления ферромагнитных пленок на подложку. Мишень нагревалась магнетронным разрядом выше магнитной температуры Кюри. Измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ), скорости распыления мишени, а также осаждения пленок на подложки и электропроводности пленок.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Минайчев В. Е., Одиноков В. В., Гюфаева Г. П. Магнетронные распылительные устройства (магнетроны): Обзор по электронной технике. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. 1979. Вып. 8 (859).
Данилин Б. С. Получение тонкопленочных слоев с помощью электронной системы ионного распыления// Зарубежная радиоэлектроника. 1978. Вып. 4. С. 87-105.
Симонов В. А., Юрков А. Н., Аксенов В. Г., Горяев А. И. Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов: А. с. 3226786/18-21 от 29.12.1980.
Заявка Япония 55.-32789; кл. С 23С 15/00, 1980.
Розанов Л. Н. Вакуумная техника. - М.: Высш. шк., 1982.
Григорьев И. С., Мейлихов У. З. Физические величины: Справочник. - М.: Энергоатомиздат, 1991.
Иванов Р. Д. Магнитные металлические пленки в микроэлектронике. - М.: Сов. радио, 1980.
Фридрихов С. А., Мовми С. М. Физические основы электронной техники. - М.: Высш. шк., 1982.
- Купить
