Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Термооксидирование наноразмерных биметаллических полупроводниковых пленок
- Авторы
- Матвеев Александр Сергеевич matveev@kaluga.biz, канд. техн. наук, доцент, Калужский филиал Московского государственного технического университета им. Н. Э. Баумана, г. Калуга, Россия
Матвеев Михаил Сергеевич , инженер, ООО МеталлИнвест, Москва, Россия
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ, ОБРАБОТКИ И СОЕДИНЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ
- Ключевые слова
- никель / железо / оксидирование / раствор / металл
- Год
- 2010 номер журнала 2 Страницы 23 - 28
- Индекс УДК
- УДК 669:621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены результаты термического оксидирования тонкопленочных железоникелиевых твердых растворов вблизи чистых компонентов, как со стороны железа, так и со стороны никеля, полученных методом магнетронного напыления на пластины монокристаллического кремния. Показано, что на монотонно изменяющихся зависимостях состав-свойство появляются особые (аномальные) точки, выраженные в виде экстремумов. Для систем Fe-Ni и Ni-Fe такая точка соответствует содержанию легируемого металла около 1 ат. %. Предполагается, что в данных областях образуются более совершенные по составу оксиды железа и никеля, изначально обладающие дефицитом металла (Fe3O4, FeO, NiO) или кислорода (Fe2O3). При окислении Ni-Fe обнаружены также соединения этих металлов, такие как, например, NiFe и NiFe3.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Соколовская Е. М., Казакова Е. Ф. Роль диаграмм состояния в современном материаловедении// Металлы. 1992. № 6. С. 169-174.
Ховив В. Н., Гончаров Е. Г., Удодова Е. Н. Оксидирование тонких пленок твердых растворов медь-никель// Конденсированные среды и межфазные границы. 2001. Т. З. № 2. С. 161-163.
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн.: Учеб. пособие. Кн. 6. Нанесение пленок в вакууме/ В. Е. Минайчев. - М.: Высш. шк., 1989. - 110 с.
Данилин Б. С., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы. - М.: Радио и связь. 1982. - 72 с.
Пшеницын В. И., Абаев М. И., Лызлов Н. Ю. Эллипсометрия в физикохимических исследованиях. - Л.: Химия, 1986. - 152 с.
Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. - М.: Мир, 1981. - 583 с.
Назаренко К. Н., Дорофеев Д. Л. Решение обратной задачи эллипсометрии для слоя с изменяющимся по толщине комплексным показателем преломления// Вестник ВГУ. Сер. Химия. Биология. 2001. № 1. С. 137-143.
Кубашевский О., Гопкинс Б. Окисление металлов и сплавов. - М.: Металлургия, 1965. - 428 с.
Кофстад П. Отклонение от стехиометрии, диффузия и электропроводность в простых окислах металлов. - М.: Мир, 1975. - 400 с.
- Купить
