Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Формирование мишеней из высокотемпературного сверхпроводника
- Авторы
- Григорашвили Юрий Евгеньевич scme@miee.ru, канд. техн. наук, начальник лаборатории, Московский государственный институт электронной техники, Москва, Россия
Бухлин Александр Викторович scme@miee.ru, инженер лаборатории, Московский государственный институт электронной техники, Москва, Россия
Верюжский Иван Васильевич vervan2005@mail.ru, младш. научн. сотрудник, Московский государственный институт электронной техники, Москва, Россия
- В разделе
- КЛЕИ, РЕЗИНЫ, ПОКРЫТИЯ И МАТЕРИАЛЫ СПЕЦИАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ
- Ключевые слова
- высокотемпературный сверхпроводник / композиционный материал / мишень / магнетронное напыление
- Год
- 2010 номер журнала 2 Страницы 41 - 45
- Индекс УДК
- УДК 621.315.55/.58:538.945
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлена технология изготовления мишени из сверхпроводящего композиционного материала (КМ) состава Bi2Sr2Ca2Cu3Ox, легированного оксидом свинца в виде объемной сетки. Мишень предназначена для магнетронного нанесения пленок высокотемпературного сверхпроводника с критической температурой 110 К и толщиной до 100 нм на подложку. Мишень устойчива к возникновению трещин при термоциклах в процессе эксплуатации, имеет надежный тепловой контакт с основанием магнетрона, что исключает изменение состава поверхности мишени в процессе ее распыления.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
http://global-sei.com/super/hts_e/index.html
Hakuraku Y. et al. Ultrathin film preparation of superconducting 2223 Bi(Pb)SrCaCuO by sputter deposition and rapid annealing// Supercond. Sci. Technol. 1996. Nо. 9. Р. 23-28.
Grigorashvily Y. E., Volkov S. I., Sotnikov I. L., Mingazin V. T. Formation of thin Bi(Pb)-Ag-Sr-Ca-Cu-O films by ex situ magnetron sputtering// Ibid. 1999. No. 12. P. 270-273.
Пат. 5077269 США. Sputtering target used for forming quinary superconductive oxide/ Suigihara et al. Патентообладатель The United States of America; Опубл. 31.12.1991.
Пат. 5059585 США. Method of making a sputtering target for a bismuth based superconductor/ Sugihara et al. Патентообладатель The United States of America; Опубл. 22.10.1991.
Пат. 2240205 РФ. Способ получения композиционных сверхпроводящих изделий из порошка/ Писарев С. П., Трыков Ю. П. Патентообладатель Российская Федерация; Опубл. 11.20.2004.
Михайлов Б. П., Ичкитидзе Л. П., Григорашвили Ю. Е., Михайлова А. Б., Шамрай В. Ф. Синтез, структура и свойства композиционной ВТСП керамики: (Bi,Pb)2Sr2Ca2Cu3O10+x+Si3N4// Неорганические материалы. 2003. Т. 73. № 7. С. 880-886.
Григорашвили Ю. Е., Бухлин А. В., Мингазин В. Т., Верюжский И. В. Способ изготовления мишени для магнетронного нанесения сверхпроводниковых пленок состава Bi-Pb-Sr-Ca-Cu-O: Пат. РФ по заявке 2008150442/28 (066250) от 22.12.2008.
- Купить
