Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Снижение вибраций в аналитическом и технологическом оборудовании электронной техники
- Авторы
- Васин Владимир Анатольевич vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru, доцент, Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), МИЭМ, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3 Тел. (8-495) 235-64-35
Ивашов Евгений Николаевич vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru, профессор, Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), МИЭМ, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3 Тел. (8-495) 235-64-35
Степанчиков Сергей Валентинович vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru, доцент, Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), МИЭМ, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3 Тел. (8-495) 235-64-35
- В разделе
- ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА
- Ключевые слова
- собственные частоты колебаний / коэффициенты демпфирования / l-координатное устройство виброзащиты / уровни виброзащиты / виброизолирующая система
- Год
- 2010 номер журнала 2 Страницы 133 - 135
- Индекс УДК
- УДК 628.056.078
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены вопросы виброзащиты объектов в аналитическом и технологическом оборудовании. Предложена четырехуровневая система защиты объектов микроэлектроники от вибраций. Для каждого из уровней системы представлены технологические решения виброзащитных устройств.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники / Н. В. Василенко, Е. Н. Ивашов, С. В. Степанчиков и др.: В 2 т. Т. 2. - г. Красноярск: Красноярское книжное изд-во; Сибирская аэрокосмическая академия, 1996. - 416 с.
Ивашов Е. Н. Устройства на основе l-координат в оборудовании электронной техники: Учебное пособие. - М.: Моск. государств. ин-т электроники и математики, 1995. - 35 с.
Кук И., Сильверман П. Растровая туннельная микроскопия// Приборы для научных исследований. - М.: Мир, 1989. № 2.
- Купить
