Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНЫХ И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ОСОБЕННОСТЕЙ БОРОСИЛИКАТНЫХ СТЕКОЛ ДЛЯ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Минаев В. С. , д-р хим. наук, проф, ,
Новиков С. Н. , канд. техн. наук, ,
Сухоруков Д. О. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- стекло / микроэлектромеханические системы / ИК-Фурье спектроскопия / фазовый состав / полиморфная модификация / боросиликатное стекло / кремний на изоляторе
- Год
- 2009 номер журнала 4 Страницы 36 - 43
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены результаты исследования методом ИК-Фурье спектроскопии различия в структуре и фазовом составе боросиликатных стекол, применяемых в технологии КНИ-структур и технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Отмечена значительная разница в технологическом поведении отечественных боросиликатных стекол одной марки, полученных от разных производителей (а также их зарубежного аналога). Выявлена взаимосвязь между технологическим поведением стекол и различиями в составе и структуре, отражающимися в ИК-спектрах стекол.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Богданович Б. Ю., Графутин В. И., Калугин В. В. и др. Технологии и методы исследования структур КНИ. - М.: МИЭТ, 2003. - 288 с.
Фрайден Дж. Современные датчики. - М.: Техносфера, 2005. - 592 с.
Эспе В. Технология электровакуумных материалов. - М.: Энергия, 1968. Т. 2. Силикатные материалы. С. 78.
Структура и физико-химические свойства неорганических стекол/ Под ред. А. Г. Власова и В. А. Флоринской. - Л.: Химия, 1974. - 360 с.
Spitzer W. G., Kleinman D. A. Infrared lattice bands or quartz// Phys. Rev. 1961. V. 121. No. 5. P. 1324-1335.
Оптические и спектральные свойства стекол в связи с их строением// Труды Второго всесоюзного симпозиума. 1970/ Под ред. С. М. Бреховских. - г. Обнинск, 1973. - 464 с.
Ефимов А. М. Оптические свойства материалов и механизмы их формирования. - СПб.: ИТМО, 2008. - 101 с.
Minaev V. S., Terashkevich I. M., Timoshenkov S. P., Kalugin V. V., Novikov S. N. New paradigm of glass structure and physicochemical essence of glass transition// Advanced Material Research, 2008. V. 39-40. P. 123-128.
Minaev V. S., Galiulin R. V. Polymorphous structure and properties of glassforming SiO2// Proceedings int. symp. on glass problem, Istanbul, Sept. 1996. P. 349.
Neuroth N. Zusammenstellung der infrarotspektren: von glasbildnern und gläsern// Glastechnische Berichte, Juni 1968. P. 243-252.
- Купить
