Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Блистеринг на тонкой пленке и в слоистой среде
- Авторы
- Змиевская Галина Ивановна zmig@mail.ru, ведущий научный сотрудник, Институт прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН, Россия, 125047, Москва, Миусская пл., 4. Тел. 8 (499) 250-79-04
Бондарева Анна Леонидовна bal310775@yandex.ru, старший научный сотрудник, Институт прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН, Россия, 125047, Москва, Миусская пл., 4. Тел. 8 (499) 250-79-04
Иванов Антон Валерьевич , науч. сотр, Институт прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН, 125047, Москва, Миусская площадь, 4
- В разделе
- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
- Ключевые слова
- радиационные повреждения / многослойные зеркала / квазилинейные уравнения / кон- струкционные материалы
- Год
- 2009 номер журнала 6 Страницы 91 - 98
- Индекс УДК
- 533.9.01, 51-72
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Материалы конференций
- Аннотация
- Радиационные повреждения в многослойных зеркалах, планируемых для литографии нового поколения, так же, как и деградация материалов термоядерных реакторов, могут быть связаны с образованием вакансионно-газовых дефектов (блистеров) в кристаллической решетке. Разработка численной модели гетерогенного фазового перехода, рассматриваемого как процесс кластеризации зародышей в "открытой" плазмоподобной среде, включает в себя использование метода стохастического аналога решения квазилинейных уравнений математической физики устойчивыми методами и открывает новые возможности в оценке рабочих качеств оптической системы, анализа механизмов фазового перехода 1-го рода на его неравновесной стадии и формирования шероховатости на границах слоев конструкционных материалов.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Кошелев К. Н., Банин В. Е., Салащенко Н. Н. Работы по созданию источника коротковолнового излучения для нового поколения литографии// УФН. 2007. Т. 177. № 7.
Bondareva A. L., Zmievskaya G. I., Levchenko T. V., Levchenko V. D.// J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. Nо. 40. Р. 4842-4849.
Sigov Yu. S., Levchenko V. D. Object-oriented plasma model (CODE SUR) in Dynamics of Transport in Plasmas and Charged Beams, edited by G. Maino and M. Ottaviani, Singapore-London, World Scientific Publ. Co. Pte. Ltd. 1996. Р. 55-69.
Сигов Ю. С. Вычислительный эксперимент: мост между прошлым и будущим физики плазмы: Избранные труды/ Составители Г. И. Змиевская, В. Д. Левченко. - М.: Наука, Физматлит, 2001. - 288 с.
Левченко В. Д. Явления самоорганизации в турбулентной плазме: диагностика и примеры. С.159-185// В кн. Новое в синергетике: Взгляд в третье тысячелетие. - М.: Наука, 2002. - 478 с. (Сер. Информатика: неограниченные возможности и возможные ограничения/Отв. ред. Г. Г. Малинецкий и С. П. Курдюмов).
Змиевская Г. И., Иньков Л. В., Левченко Т. В., Левченко В. Д. Рассеяние плазмы на зародышах металлических капель вблизи поверхности// Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2004. № 5. С. 106-112.
Змиевская Г. И.// Физика плазмы. 1997. Т. 23. № 4. С. 368-382.
Бондарева А. Л., Змиевская Г. И. Стохастическое моделирование флуктуационной стадии образования тонких пленок// Доклады Академии наук. - М.: Наука, 2005. Т. 401. № 4. С. 471-475.
Бондарева А. Л., Змиевская Г. И.// Известия Академии наук. Сер. физическая. 2002. Т. 66. № 7. С. 994-997.
Бондарева А. Л., Змиевская Г. И.// Там же. 2004. Т. 68. № 3. С. 336-339.
Змиевская Г. И., Бондарева А. Л., Иванов А. В., Покаташкин П. А. Стохастическое моделирование флуктуационной стадии высокотемпературного блистеринга в слоистой сред: Препринт/ Институт прикладной математики им. М. В. Кел-дыша РАН. - М., 2008. № 103.
Змиевская Г. И., Бондарева А. Л. Численное моделирование вакансионно-газовых дефектов поверхности твердого тела, возникающих после воздействия на нее горячей плазмы// В книге "Энциклопедия низкотемпературной плазмы". Т. IX-2. Радиационная плазмодинамика: физика, экспериментальные технологии, применения. Сер. Б. 2007. С. 480-506.
Беграмбеков Л. Б. Разрушение поверхности твердых тел при ионном и плазменном облучении. - М.: МИФИ, 1987.
Климонтович Ю. Л. Нелинейное броуновское движение// УФН. 1994. Т. 164. С. 811-844.
Аверина Т. А., Артемьев С. С. Новое семейство численных методов решения стохастических дифференциальных уравнений// ДАН СССР. 1986. Т. 288. № 4. С. 777-780.
- Купить
