Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Рост поликристаллического алмаза в плазме СВЧ-факела
- Авторы
- Сергейчев Константин Фёдорович kserg@fpl.gpi.ru, заведующий лабораторией, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. 8 (499) 503-82-39
Большаков Андрей Петрович bolshak@ran.gpi.ru, старший научный сотрудник, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Ральченко Виктор Григорьевич , зав. лабораторией, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Лукина Наталья Александровна , научный сотрудник, Институт общей физики им. А. М. Прохорова, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. 8 (499) 503-82-39
Арутюнян Наталья Рафаеловна , науч. сотр, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38
Власов Игорь Иванович , науч. сотр, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38
- В разделе
- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
- Ключевые слова
- СВЧ-разряд / смесь газов / алмаз / плазма / факел / пленка / оптический спектр
- Год
- 2009 номер журнала 6 Страницы 107 - 113
- Индекс УДК
- 537.9
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Материалы конференций
- Аннотация
- В факельном СВЧ-разряде в струе аргон-водород-метановой смеси газов, истекающей в герметичную камеру при давлении, близком к атмосферному, на подложках из кварца, сплава ВК-6 и молибдена получены алмазные пленки различной структуры методом плазменно-газофазного осаждения. Представлены изображения структуры пленок и спектры их комбинационного рассеяния. Оптические спектры плазмы в условиях роста пленок показали присутствие интенсивного излучения линии Hα водорода и полос радикала С2.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Spitsyn B. V., Bouilov L. L., Derjaguin B. V.// J. Cryst. Growth. 1981. V. 52. P. 219.
Спицын Б. В., Алексенко А. Е. Развитие работ по химической кристаллизации алмаза в ИХФ РАН// Современные проблемы физической химии. - М.: Граница, 2005. С. 350-368.
Спицын Б. В., Алексенко А. Е., Ботев А. А., Буйлов Л. Л. и др. Алмазные пленки, пластины и монокристаллы: синтез из газовой фазы, свойства, применение// Сб. Исследование углерода - успехи и проблемы/ Сост. Т. А. Сладкова, Отв. ред. Ю. Н. Бубнов. - М.: Наука, 2007. - 206 с.
Varnin V. P., Laptev V. A., Ralchenko V. G. The State of the Art in the Growth of Diamond Crystals and Films// Inorganic Materials. 2006. V. 42. Suppl. I. P. 1-18.
Bachman P. K. Microwave plasma chemical vapor deposition of diamond// in Handbook of Industrial Diamonds Films/ CRC Press 1997. Chapter 21. P. 821-850.
Сергейчев К. Ф., Лукина Н. А., Большаков А. П., Ральченко В. Г. и др.// Прикладная физика. 2008. № 6. С. 39-43.
Matsui Y., Yabe H., Hirose Y.// Jpn. J. Appl. Phys. 1990. V. 29. No. 8. P. 1552-1560.
Ravi K. V.// Diamond Relat. Mater. 1995. V. 4. P. 243-249.
Большаков А. П., Конов В. И., Востриков В. Г., Дубровский В. Ю. и др.// Квантовая электроника. 2008. Т. 38. Вып. 2. С. 165-168.
Gorbachev A. M., Muchnikov A. B., Vikharev A. L. et al.// Proc. VI Int. Workshop "Microwave discharges: fundamentals and applications". Sept. 11-15, 2006. Zvenigorod, Russia. Ed. Yu. A. Le-bedevYanus-K. Moscow, 2006. P. 303-308.
Jin Q., Yang W., Liang F., Zhang H. et al.// J. of Analyt. Atomic Spectrom. 1998. V. 13. P. 377-384.
Использование плазмы в химических процессах/ Под ред. Р. Ф. Баддура и Р. С. Тимминса. - М.: Мир, 1970. - 256 с.
- Купить
