Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Ионный поток на непроводящую поверхность в пучково-плазменном разряде: расчет и эксперимент
- Авторы
- Шустин Евгений Германович shustin@ms.ire.rssi.ru, ведущий научный сотрудник, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал, 141190, г. Фрязино Московской области, пл. Введенского 1
Курнаев Валерий Александрович kurnaev@plasma.mephi.ru, зав. кафедрой, Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 115409, Москва, Каширское ш., 31
Песков Вадим Вячеславович , аспирант, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал, 141190, г. Фрязино Московской обл., пл. Введенского 1
Чмиль Алексей Иванович , старший науч. сотр, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал, 141190, г. Фрязино Московской обл., пл. Введенского 1
- В разделе
- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
- Ключевые слова
- ионный поток / пучково-плазменный разряд / поверхность / расчет / эксперимент
- Год
- 2009 номер журнала 6 Страницы 118 - 122
- Индекс УДК
- 533.915
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Материалы конференций
- Аннотация
- Проведен компьютерный расчет модели плазменного слоя у непроводящей поверхности в пучково-плазменном разряде (ППР) при слабом магнитном поле в камере. Правильность результатов компьютерного расчета подтверждена экспериментальными данными. На основе результатов компьютерного расчета выбран оптимальный режим травления GaAs в плазмохимическом реакторе на основе ППР. Проведен также расчет аналогичной модели для режимов напыления алмазноподобных пленок.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Исаев Н. В., Чмиль А. И., Шустин Е. Г.// Физика плазмы. 2004. T. 30. № 3. С. 257.
Исаев Н. В., Шустин Е. Г., Темирязева М. П., Тараканов В. П., Федоров Ю. В.// Прикладная физика. 2008. № 3. C. 73.
Исаев Н. В., Клыков И. Л., Шустин Е. Г.: Тез. докл. XXXVI Междунар. (Звенигородской) конф. по физике плазмы и УТС. 2009. С. 269.
Исаев Н. В., Клыков И. Л., Шустин Е. Г.// Прикладная физика. 2009. № 6. С. 113.
Karkari S. K., Ellingboe A. R.// Proc. XXVIIth ICPIG. Eindhoven. The Netherlands. 2005. P. 305.
- Купить
