Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Изучение неравновесных метастабильных состояний пленок на основе Тi-Аl-N, формируемых с помощью различных источников плазмы
- Авторы
- Каменева Анна Львовна kameneva@pstu.ru, канд. техн. наук, доцент, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет", г. Пермь, Россия
Штейникова Вероника Валерьевна patent@pm.pstu.ac.ru, студентка, ГОУ ВПО "Пермский государственный технический университет", г. Пермь, Россия
- В разделе
- МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ
- Ключевые слова
- неравновесные метастабильные состояния / пленки на основе Ti-Al-N / фрактальные подструктуры / стержневые подструктуры / электродуговой испаритель / несбалансированный магнетрон / фазовый состав / химический состав
- Год
- 2009 номер журнала 4 Страницы 64 - 70
- Индекс УДК
- УДК 538.95
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Выявлены неравновесные метастабильные состояния (НМС) ионно-плазменных пленок, сопутствующие поликристаллическим образованиям; установлены и изучены метастабильные состояния пленок на основе Ti-Al-N, относящиеся к фрактальным и стержневым подструктурам. Установлено влияние одновременно работающих различных источников плазмы - электродугового испарителя и несбалансированного магнетрона - на фазовый и химический состав пленок на основе Ti-Al-N.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Hultman L. Thermal stability of nitride thin films//Vacuum. 2000. No. 57. P. 1.
Bunshah R. F. Handbook of deposition technologies for films and coatings. - Westwood: Noyes, 1994.
Maissel L. I. Handbook of thin films. - New York: McGraw-Hill, 1983.
Белянин А. Ф., Самойлович М. И. Тонкие пленки алмазоподобных материалов как наноструктурированные системы. Коллективная монография "Наноматериалы". - М.: ОАО ЦНИТИ "Техномаш", 2006. С. 241.
Самойлович М. И., Талис А. Л. Коллективная монография на основе пленарных докладов XI Междунар. конф. "Высокие технологии в промышленности России" (Москва, 7-9 сентября 2006 г.). - М: ЦНИТИ "Техномаш", 2006. С. 5.
Шевченко В. Я., Самойлович М. И., Талис А. Л., Мадисон А. Е., Шудегов В. Е. Физика и химия стекла. - СПб: Академиздатцентр "Наука" РАН, 2005. Т. 31. № 2. С. 92.
Самойлович М. И., Талис А. Л. Фундаментальные основы инженерных наук. - М.: Изд-во Р. Першина, 2006. Т. 2. С. 161.
Жабрев В. А., Лукьянов Г. Н., Марголин В. И., Серов И. Н., Тупик В. А. Тонкие пленки в оптике и наноэлектронике: Матер. харьковской нанотехн. ассамблеи (Харьков, 2-6 октября 2006 г.). - Харьков: ИПП "Контраст", 2006. С. 248.
Серов И. Н., Марголин В. И., Жабрев В. А. и др. Материалы научно-практической конф. материаловедческих обществ России "Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование. - М.: МИФИ, 2004. С. 41.
Жабрев В. А., Лукьянов Г. Н., Марголин В. И., Немов С. А., Прошин В. И., Серов И. Н., Солтовская И. А., Тупик В. А. Материалы 6-й специализированной выставки "Изделия и технологии двойного назначения. Конверсия ОПК". - М.: AIRES, 2005. С. 1.
Белянин А. Ф., Самойлович М. И. Наноматериалы. Коллективная монография на основе материалов международных конференций "Высокие технологии в промышленности России" 2006-2008 гг. - М.: ЦНИТИ "Техномаш", 2008. - 256 с.
- Купить
