Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ГАЗОВОГО ПОТОКА В ЩЕЛЕВЫХ РЕАКТОРАХ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО НАРАЩИВАНИЯ ПРИЗМАТИЧЕСКОГО И ДИФФУЗОРНОГО ТИПОВ
- Авторы
- Тимофеев В. Н. , д-р техн. наук, проф, ,
Миркурбанов Х. А. , канд. техн. наук, ,
Кравченко А. А. , , ,
Веревкин Д. В. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2009 номер журнала 1 Страницы 34 - 39
- Индекс УДК
- 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлен вариант совершенствования эпитаксиального реактора, сравниваются результаты компьютерного моделирования двух типов реакторов, даются обобщенные выводы о целесообразности их использования.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Емельянов В. А. Оборудование для химического осаждения из газовой фазы функциональных слоев/Емельянов В. А., Турцевич А. С., Наливайко О. Ю. - Минск: Белорус. наука, 2007. - 255 с.
Бакин Н. Н., Борисенко Л. А. Гетероэпитаксия арсенида галлия на кремнии: Обзоры по эл. технике//Микроэлектроника: ЦНИИ "Электроника". 1989. Вып. 4 (472).
Стрельченко С. С., Матьяш А. А. Кинетика осаждения эпитаксиальных слоев соединений АIIIBV из газовой фазы: Обзоры по эл. технике//Материалы. ЦНИИ "Электроника". 1979. Вып. 8 (678).
SolidWorks 2007/2008 - компьютерное моделирование в инженерной практике/Алямовский А. А., Собачкин А. А., Одинцов Е. В., Харитонович А. И., Понамарев Н. Б. - СПб.: БХВ-Петербург, 2008. С. 219-469.
Лойцянский Л. Г. Механика жидкости и газа: Учеб. для вузов. 7-е изд., испр. - М.: Дрофа, 2003. - 386 с.
- Купить
