Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ПОДЛОЖКИ В РЕАКТОРЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК
- Авторы
- Сажнев С. В. , канд. техн. наук, ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2008 номер журнала 2 Страницы 75 - 80
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Дан анализ теплового баланса подложки в реакторе эпитаксиальной установки индивидуальной обработки подложек. Показано влияние газового зазора между подложкой и подложкодержателем на перепад температур по радиусу подложки. Обсуждается выбор конструкции гнезда подложки на подложкодержателе.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Сажнев С. В., Тимофеев В. Н. Процессы быстрой термической обработки и оборудование на их основе// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: ФГУП "ВИМИ". 2003. № 2. С. 24-31.
Akiyama N., Inoue Y, Suzuki T. Critical Radial Temperature Gradient Induction Slip Dislocations in Silicon Epitaxy Using Dual Heating of the Two Surfaces of a Wafer// Jap. J. Appl. Phys. 1986. V. 25. № 11. P. 1619-1622.
Пул Ч., Оуэнс Ф. Нанотехнологии. - М.: Техносфера, 2004. - 328 с.
Самойликов В. К., Батюк С. Н., Шварц К. М. Экспериментальные исследования тепломассообмена при осаждении слоев из газовой фазы при пониженном давлении// Минский международный форум "Теплообмен". Избранные доклады. Секц. 3. - Минск, 1989. - 430 с.
Сажнев С. В., Миркурбанов Х. А., Тимофеев В. Н. Состояние проблемы разработки эпитаксиальных установок// Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. - М.: ФГУП "ВИМИ", 2003. № 4. С. 43-45.
Козлов Ю. Ф. Оценка влияния технологических факторов на вольт-емкостные характеристики детекторов ядерных частиц// Известия высших учебных заведений. Электроника, 2002. № 4. С. 44-47.
Грушичев А. В., Самойликов В. К. Расчет температурного поля, возникающего в теле подложки// Всерос. конф. "Электроника и автоматика". Тез. докл. - М., 1995. С. 217-219.
Winkler E. RTP making Its Into Fab. Areas // Electronic News, 1989. V. 35. № 1786. P. 28-30.
Сигалов Э. Б. Принципиальные основы создания оборудования для производства эпитаксиальных структур кремния в газофазных процессов/ Автореф. дис…...…… канд. техн. наук. - М., 1990.
Михеев М. А., Михеева, И. М. Основы теплопередачи. - М.: Энергия, 1977. - 319 с.
Цонг Х. Основные формулы и данные по теплообмену для инженеров. - М.: Атомиздат, 1982. - 217 с.
Попов В. П. Тепломассоперенос в эпитаксиальном реакторе вертикального типа 1. Симметричный нагрев// ИФЖ, 1989. Т. 56. № 6. С. 242-248.
Попов В. П. Тепломассоперенос в эпитаксиальном реакторе вертикального типа 2. Несимметричный нагрев// Там же. Т. 57. № 1. С. 23-27.
Андриевский Р. А., Спивак Н. И. Прочность тугоплавких соединений и материалов на их основе. Справочник. - Челябинск: Металлургия, 1989. - 370 с.
А.с. 1208855 СССР, МКИ Boij 17/32. Подложкодержатель для газотермической обработки подложек/ Х. А Миркурбанов., Э. Б. Сигалов, Н. С. Волков. - 1984.
Сосунов А. Г. Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки/ Автореф. дис... … канд. техн. наук. - М., 2000. - 22 с.
Самойликов В. К. Оптимизация технологического оборудования и процесса газофазной эпитаксии кремния производства СБИС/ Автореф. дис…... д-ра техн. наук. - М, 1996. - 30 с.
Физические величины. Справочник под ред. И. С. Григорьева. - М.: Энергоатомиздат, 1991. - 1200 с.
Варгафтик Н. Б. Справочник по теплофизическим свойствам газов и жидкостей. - М.: Наука, 1972. - 720 с.
Звероловлев В. М., Папков Н. С. , Суворов В. М. Изучение особенностей нагрева подложек в реакторе с пониженным давлением// Электронная техника. Сер. Материалы. 1984. Вып. 5 (190). С. 58-61.
- Купить
