Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- ПРИМЕНЕНИЕ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО ЭЛЕКТРОСТИМУЛИРОВАННОГО ТЕРМИЧЕСКОГО СОЕДИНЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Калугин В. В. , д-р техн. наук, ,
Прокопьев Е. П. , канд. физ.-мат. наук, ст. науч. сотр, ,
Бритков О. М. , , ,
Зотов С. А. , канд. техн. наук, ,
Рубчиц В. Г. , с. н. с, ,
- В разделе
- МАШИНОСТРОЕНИЕ. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ И МОДЕЛИРОВАНИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 3 Страницы 21 - 26
- Индекс УДК
- УДК 621.315.612+621.315.5
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Показано, что механизм электростимулированного термического соединения (ЭТС) аналогичен процессу электрохимического анодирования металлов и полупроводников. При этом диэлектрик (стекло) играет роль твердого электролита. Таким образом, важным параметром процесса соединения является величина плотности тока и ее зависимость от времени. Определены границы области допустимого изменения параметров процесса ЭТС, в пределах которой происходит устойчивое соединение стекол с кремнием.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Schmidt B., Nitzsche P., Lange K., Grigull S., Kreissig U., Thomas B., Herzog K. In situ investigation of ion drift processes in glass during anodic bonding // Sensors and Actuators. 1998. V. A67. P. 191-198.
Вест А. Химия твердого тела. Ч. 1, 2. - М.: Мир, 1988.
Аппен А. А. Химия стекла. - М.: Химия, 1970. С. 128-251.
Patent 3.765.969 US. 1973, Bell.
- Купить
