Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- РАСЧЕТ И ОПТИМИЗАЦИЯ КОНСТРУКЦИИ ПОДВЕСОВ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ
- Авторы
- Тимошенков С. П. , д-р техн. наук, проф, ,
Симонов Б. М. , канд. техн. наук, ,
Зотов С. А. , канд. техн. наук, ,
Бойко А. Н. , науч. сотр, ,
Анчутин С. А. , , ,
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 3 Страницы 66 - 69
- Индекс УДК
- УДК 621.3.049.77
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Дан анализ статического напряженно-деформируемого состояния подвесов различной конфигурации при повороте чувствительного элемента микроэлектромеханических систем на заданный угол при отсутствии внешних механических возмущений, а также наличии внешних статических механических нагрузок.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. - М.: Техносфера, 2004. - 350 с.
Распопов В. Я. Микромеханические приборы. - Тула: Изд-во Тульского госуд. ун-та, 2002. - 240 c.
Оптический переключатель и способ его изготовления, ЕПВ: Патент 1351078, Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha, 2002.
Микроэлектромеханическое зеркало и массив зеркал, ВОИС: Патент 2075426, Transparent Networks Inc., 2001.
Mirrors with Integrated Position-Sence Electronics for Optical-Switching Applications//Analog dialogue 36-04, 2002. Р. 3-4
Каплун А. Б., Морозов Е. М., Олферьева М. А. ANSYS в руках инженера: практическое руководство. - М.: Едиториал УРСС, 2003. - 276 с.
- Купить
