Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Cвойства пленок нитрида бора, полученных методом ВЧ-магнетронного напыления
- Авторы
- Батюня Л. П. , канд. техн. наук, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет), Москва, Россия
Соколов Е. Б. , д-р техн. наук, проф, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет), Москва, Россия
- В разделе
- ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 2 Страницы 60 - 64
- Индекс УДК
- УДК 639.216:621.793.7
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Разработана технология получения пленок нитрида бора методом ВЧ-магнетронного напыления. Исследованы электрофизические свойства и структура пленок. Установлена возможность получения оптически прозрачных пленок нитрида бора, имеющих механически прочную алмазоподобную структуру. Пленки нитрида бора могут применяться в качестве защитных покрытий для различных конструкций, в том числе для изготовления многослойных пленочных структур, используемых в электронных устройствах и в элементах изделий электроники.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Физико-химические свойства полупроводниковых веществ: Справочник/ АН СССР. - М.: Наука, 1979. - 340 с.
Краткий справочник по химии/ Под ред. О. Д. Куриленко. - Киев: Наукова думка. 1974. С. 991.
Накамото К. Инфракрасные спектры неорганических и координационных соединений. - М.: Мир, 1986. - 411 с.
Соколов Е. Б., Батюня Л. П., Михайлов А. И., Мазуренко С. Н., Сиедин В. А., Корсаков В. С. Исследование возможности использования алмазоподобных пленок для рентгеношаблонов// Сб. науч. тр. по проблемам микроэлектроники. Сер. Технология спецматериалов интегральных схем. - М.: МИЭТ, 1988. С. 77-79.
Мишачев В. И., Корсаков В. С. Трутнев Н. Ф., Мазуренко С. Н., Батюня Л. П. Исследование параметров мембран рентгеношаблонов на основе кремния с двумя уровнями толщин и мембран на основе боронитрида// Там же. 1989. С. 11-12.
Батюня Л. П., Аверин А. В., Махов В. И., Соколов Е. Б. Разработка технологического процесса напыления алмазоподобных пленок для защиты элементов приборов// Сб. тр. 8-го Всес. совещания "Новые материалы для микроэлектроники на основе тугоплавких соединений". - Киев-Юрмала, 1992. С. 39-41.
Рыжов М. В., Шарин А. Г., Батюня Л. П., Раскин А. А. Технология получения и метод измерения параметров ВТСП-пленок: Тез. докл. Всерос. конф. "Электроника и информатика-2002". - М.: МИЭТ, 2002. С. 19.
- Купить
