Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Технологические аспекты получения многослойных структур для магниточувствительных устройств
- Авторы
- БАТЮНЯ Л.П. , , Московский государственный институт электронной техники (Технический университет),
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ, ОБРАБОТКИ И СОЕДИНЕНИЯ КОНСТРУКЦИЙ
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 1 Страницы 60 - 63
- Индекс УДК
- УДК 538.945
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрен технологический процесс получения многослойных тонкопленочных структур с воспроизводимыми свойствами состава висмут-стронций-кальций-медь-кислород и цирконий-титан-свинец на окисленных кремниевых подложках.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Шарин А. Г., Батюня Л. П., Раскин А. А. Получение высокотемпературных сверхпроводящих пленок систем YBaCuO и BiPbSrCaCuO методом магнетронного напыления//Зарубежная электронная техника. 2000. № 1. С. 88-93.
Волков С. И., Григорашвили Ю. Е., Сотников И. Л., Мингазин В. Т. Пленки высокотемпературного сверхпроводника с критической температурой выше 100 К//Известия вузов. Электроника, 1988. № 3. С. 14-18.
Nam S. M., Kimura H., Ohashi N., Tsurumi T. Improvement of quality and electrical properties of sputtered PZT films by wet-oxidation process//Jpn. J. Appl. Phys. Pt 1, 1999. V. 38. № 9В. Р. 5383-5387.
Hammer M., Hoffman M. J. Sintering model for mixed-oxide-derived lead zirconate titanate ceramics. J. Amer. Ceram. Soc., 1998. V. 81. № 2. P. 1013-1018.
Kim T. S., Kim D. J., Lee J. K., Jung H. J. Fabrication of excess PbO-doped HZT thin films using RF magnetron sputtering metod//J. Vac. Sci.Technol., 1997. V. 15. № 6. P. 2831-2835.
Hammer M., Hoffman M. J. Sintering model for mixed-oxide-derived lead zirconate titanate ceramocs//J. Amer. Ceram. Soc., 1998. V. 81. № 2. P. 1013-1018.
Fukuda Y., Aoki K. Effects of excess Pb and substrate on crystallization process of amorphous PZT thin films prepared by RF magnetron spettering//Jpn. J. Appl. Phys. Pt 1, 1997. V. 36. № 9В. Р. 5793-5798.
- Купить
