Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Влияние загрязнения кремния углеродом на процесс силицирования паро- и паро-жидкофазным методами
- Авторы
- Бушуев Вячеслав Максимович uniikm@yandex.ru, канд. техн. наук; главный специалист, АО "Уральский научно-исследовательский институт композиционных материалов", г. Пермь, Россия
Бушуев Максим Вячеславович maksim.bush@mail.ru, инженер-технолог 2-й кат, АО "Уральский научно-исследовательский институт композиционных материалов", г. Пермь, Россия
Воробьев Александр Сергеевич vorobyov_as@uniikm.ru, начальник отдела, АО "Уральский научно-исследовательский институт композиционных материалов", г. Пермь, Россия
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ, ОБРАБОТКИ И СОЕДИНЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ
- Ключевые слова
- паро-жидкофазный метод силицирования / загрязнение кремния углеродом / углеродсодержащие реакторные газы / испарение кремния / конденсация паров кремния
- Год
- 2018 номер журнала 2 Страницы 29 - 36
- Индекс УДК
- 53:661.666
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Оценено влияние загрязнения кремния углеродом и высокого содержания углеродсодержащих газов в реакторе на процесс силицирования паро-жидкофазным методом. Экспериментальным путем установлено отрицательное влияние загрязнения кремния углеродом через твердую и газовую фазы на процесс силицирования паро-жидкофазным методом при проведении его в установках изотермического нагрева. Выявлено, что такое влияние обусловлено образованием пленки карбида кремния на поверхности зеркала расплава кремния и частичным химическим связыванием паров кремния углеродсодержащими реакторными газами. В наибольшей степени отрицательное влияние проявляется в интервале температур 1000-1550 оС. Показано, что реализация процесса конденсации паров кремния позволяет полностью исключить негативное влияние загрязнения кремния углеродом и частичного связывания паров кремния углеродсодержащими реакторными газами. Отмечено, что снижение загрязнения кремния углеродом и повышение чистоты реакторного объема способствуют повышению надежности работы установок силицирования паро-жидкофазным методом.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Бушуев В. М., Ларькова Е. В. К вопросу разработки модели процесса силицирования деталей из УУКМ парофазным методом // Перспективные материалы. 2010. № 9. С. 65-69.
Бушуев В. М., Бушуев М. В., Синани И. Л. Разработка новых методов силицирования применительно к изготовлению крупногабаритных изделий из УУКМ: мат. IX Всеросс. конф. "Новые материалы". 2012. Т. 2. С. 18-31.
Бушуев В. М., Синани И. Л., Мертвищев Д. С., Бушуев М. В. Исследование процесса конденсации паров кремния в объеме реторты с проницаемыми стыками применительно к силицированию крупногабаритных изделий из УУКМ: мат. IX Всеросс. конф. "Новые материалы". 2012. Т. 2. С. 46-58.
Бушуев В. М., Синани И. Л., Докучаев А. Г. Перспективы применения процесса капиллярной конденсации паров кремния в технологии силицирования пористых заготовок из углеродсодержащих материалов // Вопросы оборонной техники. Сер. 15. Композиционные неметаллические материалы в машиностроении. 2014. Вып. 1(172). № 2 (173). С. 38-44.
Бушуев В. М., Бушуев М. В., Фалькович А. Н. Вопросы конструктивного оснащения процесса силицирования крупногабаритных изделий из УУКМ паро-жидкофазным методом: мат. IX Всеросс. конф. "Новые технологии". 2012. Т. 2. С. 38-45.
Бушуев В. М., Бушуев М. В., Оболенский Д. С., Фалькович А. Н. Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала в форме оболочек. Патент РФ № 2513497. Заявл. 04.09.2012. Опубл. 20.04.2014.
Бушуев В. М., Бушуев М. В., Кокшаров А. А. Способ изготовления изделий из композиционных материалов и устройство для его осуществления. Патент РФ № 2490238. Заявл. 23.03.2012. Опубл. 20.08.2013.
Чередниченко В. С., Бушуев В. М. Донный нагреватель шахтной вакуумной высокотемпературной электропечи сопротивления. Патент РФ № 115452 на полезную модель. Заявл. 16.06.2011. Опубл. 27.04.2012.
Бушуев В. М., Бушуев М. В., Фалькович А. Н. Устройство для объемного металлирования. Патент РФ № 2574947. Заявл. 10.10.2014. Опубл. 10.02.2016.
Амелин А. Г. Теоретические основы образования тумана при конденсации пара. - М.: Химия, 1972. - 304 с.
Чередниченко В. С. Дистилляционные электропечи. - Новосибирск: НГТУ, 2009. - 183 с.
Влияние условий выращивания на характер распределения микродефектов в бездислокационных монокристаллах кремния // Изв. АН СССР. Сер. "Неорганические материалы". 1979. Т. 15. № 2. С. 1286, 1287.
Севостьянов В. Г., Павелко Р. Г. и др. Термодинамическое и экспериментальное исследование взаимодействия кремния и моноокиси углерода; синтез нановолокон карбида кремния // Перспективные материалы. 2010. № 9. С. 23-28.
Мармер Э. М. Углеграфитовые материалы: Справочник. - М.: Металлургия, 1973. - 136 с.
Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. - М.: Мир, 1964. - 716 с.
Гнесин Г. Г., Кудюмов А. В. Карбид кремния. - Киев: Наукова думка, 1966. С. 83.
Металлизация сталей и сплавов в вакууме. - Киев: Техника, 1974. - 87 с.
- Купить
