Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Корундовая керамика для подложек интегральных микросхем
- Авторы
- Ануфриева Елена Владимировна elena-anufrieva@rambler.ru, аспирант, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва, Россия
Лукин Евгений Степанович lukin.1938@mail.ru, д-р техн. наук; профессор, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва, Россия
Попова Нелля Александровна nik-bakuga@mail.ru, канд. техн. наук; старший преподаватель, Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева, Москва, Россия
Санникова Светлана Николаевна cveta-sergy@mail.ru, канд. техн. наук; начальник лаборатории, ОАО "Композит", г. Королев, Московская обл., Россия
- В разделе
- КОНСТРУКЦИОННЫЕ И ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
- Ключевые слова
- оксид алюминия / подложки / нанопорошки / спекание / микроструктура / усадка / прочность / энергия активации / шероховатость поверхности / размер кристаллов / беспористая керамика
- Год
- 2018 номер журнала 3 Страницы 45 - 53
- Индекс УДК
- 666.762.11:621.3
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены некоторые особенности технологии изготовления и свойства керамики из оксида алюминия, применяемой для изготовления подложек интегральных микросхем. Достаточно подробно изучены вопросы спекания и свойства керамики из немецкого глинозема марки CT 3000 SG. Установлены параметры технологического процесса, обеспечивающего получение беспористых мелкокристаллических изделий с высокой чистотой поверхности после механической обработки. Приведены сведения о получении беспористых мелкокристаллических изделий (подложек для микросхем) с применением отечественных сырьевых материалов и нанодисперсных порошков-добавок в системе Al2O3-ZrO2-Y2O3.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Лукин Е. С., Попова Н. А., Ануфриева Е. В., Морозов Б. А., Преображенский В. С. Анализ микроструктуры, качества поверхности и свойств подложек из оксида алюминия // Конструкции из композиционных материалов. 2010. № 9. С. 9-14.
Лукин Е. С., Андрианов Н. Т., Мамаева Н. Б., Попова Н. А. О проблемах получения оксидной керамики с регулируемой микроструктурой // Огнеупоры. 1993. № 5. С. 11-15.
Лукин Е. С. Современная высокоплотная керамика с регулируемой микроструктурой. Ч. III. Микроструктура и процессы рекристаллизации в керамических оксидных материалах // Огнеупоры. 1996. № 7. С. 2-7.
- Купить
