Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Исследование структуры и свойств нанокомпозитных пленок SrTiO3 на подложках Si (001)
- Авторы
- Павленко Анатолий Владимирович antvpr@mail.ru, д-р физ.-мат. наук, ведущий научный сотрудник, ведущий научный сотрудник отдела "Физика, химия, астрономия", Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета; Федеральный исследовательский центр "Южный научный центр РАН", г. Ростов-на Дону, Россия
Жидель Карина Михайловна karinagidele@gmail.com, аспирант 2-го курса физического факультета, Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, г. Ростов-на Дону, Россия
- В разделе
- МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ
- Ключевые слова
- композитные пленки / структура / оптические константы / диэлектрические свойства / шероховатость поверхности / неразрушающий контроль
- Год
- 2021 номер журнала 4 Страницы 30 - 34
- Индекс УДК
- 538.911, 539.216.2, 544.023, 535.3, 535.5, 537.2
- Код EDN
- Код DOI
- 10.52190/2073-2562_2021_4_30
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены результаты исследования структуры, диэлектрических и оптических свойств тонких пленок SrTiO3, выращенных методом ВЧ-катодного распыления в атмосфере кислорода на подложках Si (001). Показано, что пленки имеют слабое поглощение, нормальный ход дисперсии показателя преломления и интердиффузионные слои на границах раздела фаз.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Pan D. M., Zhou G. K., Zhi X. D., Hsu T., Yeh J. Performance of nano-SiO2-filled poly (ether ketone ketone) substrate for fifth-generation communication // J. Elec. Materi. 2021. V. 50. P. 5327.
Matavž A., Koželj P., Winkler M., Geirhos K., Lunkenheimer P., Bobnar V. Nanostructured multiferroic Pb(Zr,Ti)O-NiFeO thin-film composites // Thin Sol. Films. 2021. V. 732. P. 138740.
Li F., Yao M., Su Z., Chen J., Peng Y., Li Q., Yao X. Enhancement of breakdown strength of SrTiO3/nano-SiO2 composite film prepared by sol-gel technology // Ceram. Int. 2017. V. 43. Iss. 4. P. 3495.
Guo R., Wang Z., Zeng S., Han K., Huang L., Schlom D., Venkatesan G., Ariando T., Chen J. Functional ferroelectric tunnel junctions on silicon // Sci. Rep. 2015. V. 5. P. 12576.
Wang J., Nonnenmann S. S. Area-dependent electroforming and switching polarity reversal across TiO2/Nb: SrTiO3 oxide interfaces // J. Mater. Sci. 2017. V. 52. P. 6469.
Hao J. H., Gao J., Wang Z., Yu D. P. Interface structure and phase of epitaxial SrTiO3 (110) thin films grown directly on silicon // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 87. P. 131908.
Niu G., Saint-Girons G., Vilquin B., Delhaye G., Maurice J. L., Botella C., Robach Y., Hollinger G. Molecular beam epitaxy of SrTiO3 on Si (001): Early stages of the growth and strain relaxation // Appl. Phys. Lett. 2009. V. 95. P. 062902.
Zhou X. Y., Miao J., Dai J. Y., Chan H. L. W., Choy C. L., Wang Y., Li Q. Epitaxial growth of SrTiO3 thin film on Si by laser molecular beam epitaxy // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 90. P. 012902.
Eisenbeiser K., Droopad R., Yu Z., Overgaard C., Kulik J., Finder J., Smith S. M., Voight S., Penunuri D. Crystalline oxide-pased devices on silicon substrates // J. Electron. Mater. 2003. V. 32. № 8. P. 868.
Cardona M. Optical properties and band structure of SrTiO3 and BaTiO3 // Phys. Rev. 1965. V. 140. P. A651.
Cottier R. J., Steinle N. A., Currie D. A., Theodoropoulou N. Band gap tuning of epitaxial SrTiO3-δ/Si(001) thin films through strain engineering //Appl. Phys. Lett. 2015. V. 107. P. 221601.
Bayrak T., Goldenberg E. Growth and characterization of nanocrystalline SrTiOx films: room temperature deposition using RF sputtering system in a pure argon environment // Mater. Res. Express. 2017. V. 4. P. 055016.
Tokumistu E., Nakamura R.-I., Ishiwara H. Nonvolatile memory operations of metal-ferroelectric-insulator-semiconductor (MFIS) FETs using PLZT/STO/Si(100) structures // IEEE Electr device L. 1997. V. 18. № 4. P. 160.
Wasa K., Yamazaki O., Adachi H., Kawaguchi T., Setsune K. Optical TIR switches using PLZT thin-film waveguides on sapphire // J. Light. Technol. 1984. V. 2. № 5. P. 710.
Higashino H., Kawaguchi T., Adachi H., Makino T., Yamazaki O. High-speed optical TIR switches using PLZT thin-film waveguides on sapphire // Jpn. J. Appl. Phys. 1985. V. 24. P. 284.
Yi G., Wu Z., Sayer M. Preparation of Pb(Zr,Ti)O3 thin films by sol gel processing: electrical, optical, and electro-optic properties // J. Appl. Phys. 1988. V. 64. № 5. P. 2717.
Boudrioua A., Loulergue J. C., Dogheche E., Remiens D. Electro-optic characterization of (Pb, La)TiO3 thin films using prism-coupling technique // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. № 3. P. 1780.
Adachi H., Kawaguchi T., Setsune K., Ohji K., Wasa K. Electro‐optic effects of (Pb, La)(Zr, Ti)O3 thin films prepared by rf planar magnetron sputtering // Appl. Phys. Lett. 1983. V. 42. № 10. P. 867.
Иванов-Омский В. И., Криворотов И. Н., Ястребов. С. Г. Алмазоподобный гидрогенизированный углерод, легированный медью: спектральная интерферометрия // ЖТФ. 1995. Т. 65. С. 121.
Мухортов В. М., Юзюк Ю. И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. - Ростов н/Д: ЮНЦ РАН, 2008.
Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Теоретическая физика: учеб. пособие для вузов. Т. VIII. Электродинамика сплошных сред. - М.: Физматлит, 2005.
Handbook of ellipsometry / Ed. by Tompkins H. G., Irene A. E. - William Andrew Publishing: Springer, 2005.
Aspnes D. E. Optical properties of thin films // Thin Sol. Films. 1982. V. 89. P. 249.
Zhang J. J., Sun J., Zheng X. J. A model for the C-V characteristics of the metal-ferroelectric-insulator-semiconductor structure // Solid State Electron. 2009. V. 53. P. 170.
Zeng Y., Shi S., Zhou L., Ling F., Yao J. Optical modulation of BST/STO thin films in the terahertz range // J. Elec. Materi. 2018. V. 47. P. 3855.
Королёв М. А., Крупкина Т. Ю., Ревелева М. А. и др. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч. 1 - М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012.
Wang Z., Kugler V., Helmersson U., Konofaos N., Evangelou E. K., Nakao S., Jin P. Electrical properties of SrTiO3 thin films on Si deposited by magnetron sputtering at low temperature // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79. P. 1513.
Gaidi M., Stafford L., Amassian A., Chaker M., Margot J., Martinu L., Kulishov M. Influence of the microstructure on the optical characteristics of SrTiO3 thin films //J. Mater. Res. 2005. V. 20. № 1. P. 68.
- Купить
- 500.00 руб
