Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Многофункциональная система для производства элементов микроэлектроники и компьютерной электронно-лучевой оптики
- Авторы
- Васин Владимир Анатольевич vacuumwa@list.ru, докторант, Московский государственный институт электроники и математики, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3
Васичев Борис Никитович vasichev@yandex.ru, vacuumwa@list.ru, профессор, Московский государственный институт электроники и математики, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3
Степанчиков Сергей Валентинович vacuumwa@list.ru, доцент, Московский государственный институт электроники и математики, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3
Фатьянова Наталья Георгиевна vacuumwa@list.ru, аспирант, Московский государственный институт электроники и математики, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3
- В разделе
- ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА
- Ключевые слова
- миниатюризация электронно-лучевого оборудования / многопучковая система / многофункциональная система / радиационные нагрузки
- Год
- 2011 номер журнала 4 Страницы 126 - 131
- Индекс УДК
- УДК 621.235.015
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены преимущества и различные возможности проектирования и разработки многофункционального многопучкового электронно-лучевого оборудования без привносимой дефектности, с низкими радиационными нагрузками на обрабатываемый объект при производстве изделий микроэлектроники, компьютерной электронно-лучевой оптики и системотехнических устройств.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Васичев Б. Н.// Известия РАН, серия физическая. 2000. Т. 64. № 8. С. 1637.
Васичев Б. Н.// Прикладная физика. 2000. № 2. С. 26.
Васин В. А., Васичев Б. Н., Степанчиков С. В. // Там же. 2010. № 3. С. 132.
Александрова А. Т., Васин В. А., Горюнов А. А. и др.: Пат. на изобретение 2211114.
Александрова А. Т., Васин В. А., Кеменов В. Н. и др.: Пат. на изобретение 2263820.
Розанов Л. Н. Вакуумная техника. 2-е изд. - М.: Высш. шк., 1995.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчи-ков С. В. // Приводная техника. 2010. № 4(86). С. 31.
- Купить
- 100.00 руб
