Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Альтернативные транспортные средства для экологически совершенного вакуумного оборудования электронной техники
- Авторы
- Кузнецов Александр Евгеньевич KEA@tcen.ru, младший научный сотрудник, ФГУ НПК "Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
Васин Владимир Анатольевич vacuumwa@ya.ru, vacuumwa@list.ru, канд. техн. наук, докторант, Московский государственный институт электроники и математики (технический университет), Москва, Россия
Ивашов Евгений Николаевич ienmiem@mail.ru, д-р техн. наук, профессор кафедры "Технологические системы электроники", Московский государственный институт электроники и математики (технический университет), Москва, Россия
Степанчиков Сергей Валентинович vacuumwa@ya.ru, канд. техн. наук, доцент кафедры "Технологические системы электроники", Московский государственный институт электроники и математики (технический университет), Москва, Россия
- В разделе
- ВНЕДРЕНИЕ ЭКОЛОГИЧЕСКИ БЕЗОПАСНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
- Ключевые слова
- экологически совершенное оборудование / вакуумное оборудование электронной техники / транспортные средства / бесконтактное магнитное взаимодействие / управляемая упругая деформация / привносимые загрязнения / микрочастицы износа
- Год
- 2011 номер журнала 4 Страницы 69 - 74
- Индекс УДК
- УДК 621.002.5.025
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены тенденции развития современных транспортных средств для экологически совершенного вакуумного оборудования электронной техники. Показано, что альтернативными транспортными средствами для этого оборудования являются механические системы, построенные с использованием принципов бесконтактного магнитного взаимодействия и управляемой упругой деформации. Представлены методика и результаты расчета устройств на привносимые загрязнения микрочастицами износа в контролируемой вакуумной среде. Такой подход обеспечивает создание экологически чистого оборудования в индустрии высоких вакуумных технологий.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Ивашов Е. Н., Некрасов М. И., Степанчиков С. В. Исследование фрикционных характеристик твердосмазочных покрытий в вакууме // Органические полупроводниковые материалы. - Пермь, 1986. Вып. 3. С. 175-181.
Александрова А. Т. Теоретические основы расчета и конструирования функциональных устройств и систем оборудования высоких вакуумных технологий на основе приводов управляемой упругой деформации: Учеб. пособие. - Московский государственный институт электроники и математики. - М., 2003. - 48 с.
Александрова А. Т., Васин В. А., Горюнов А. А. и др. Пат. 2206913 "Устройство позиционирования и привод вращения для него". Заявка № 2001118067/28 от 03.07.2001. Опубл. 20.06.2003. Бюл. № 17.
Александрова А. Т., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. и др. А. с. 1366389 "Механизм для перемещения и ориентации деталей". Заявка № 4090039/31 от 28.05.1984. Опубл. 30.10.1985. Бюл. № 40.
Александрова А. Т., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. и др. А. с. 1187980 "Исполнительный орган манипулятора". Заявка № 3780740/25 от 10.05.1984. Опубл. 15.01.1988. Бюл. № 2.
- Купить
