Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Изготовление индиевых микроконтактов с помощью фоторезиста ФПН-20-ИЗО в БИС считывания фотосигнала
- Авторы
- Батырев Николай Иванович , канд. хим. наук; доцент, Московская государственная академия тонкой химической технологии им. М. В. Ломоносова, Россия, 119571, Москва, просп. Вернадского, 86
Климанов Евгений Алексеевич orion@orion-ir.ru, главный научный сотрудник, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Лисейкин Виктор Петрович orion@orion-ir.ru, старший научный сотрудник, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Надров Дамир Ривкатевич orion@orion-ir.ru, техник, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Седнев Михаил Васильевич orion@orion-ir.ru, начальник участка, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
- В разделе
- ФОТОЭЛЕКТРОНИКА: ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА И ТЕХНОЛОГИЯ
- Ключевые слова
- Год
- 2012 номер журнала 6 Страницы 142 - 144
- Индекс УДК
- УДК 621.315.5
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрено применение "взрывного" метода с использованием обращаемого фоторезиста для создания индиевых микроконтактов с шагом ≤30 мкм, что позволяет в значительной степени устранить недостатки, присущие методу прямой фотолитографии, а именно, неоднородность химического травления по площади образцов и химическое воздействие на нижележащие технологические слои, приводящее к повышенной плотности дефектов.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Клименко А. Г., Войнов В. Г., Новоселов А. Р. и др. // Автометрия. 1988. № 4. С. 105.
Акимов В. М., Климанов Е. А., Лисейкин В. П. и др. // Прикладная физика. 2010. № 4. С.
- Купить
- 100.00 руб
