Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- РАЗРАБОТКА АКТЮАТОРА НА ОСНОВЕ БИМОРФНОЙ СТРУКТУРЫ И КОНСТРУКЦИИ МИКРОЗЕРКАЛА НА ЕГО ОСНОВЕ
- Авторы
- Евстафьев Сергей Сергеевич madcatse@gmail.com, инженер, аспирант кафедры "Микроэлектроника", Московский государственный институт электронной техники (технический университет), Москва, Россия
- В разделе
- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА И ОБОРУДОВАНИЕ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА. РАДИОТЕХНИКА. ЭЛЕКТРОНИКА
- Ключевые слова
- термоактюатор / биморфная структура / микрозеркало
- Год
- 2011 номер журнала 4 Страницы 33 - 38
- Индекс УДК
- УДК 621.365
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрен принцип действия и разработана конструкция термоактюатора на основе биморфной структуры SiO2/Al. Предложены конструкция и технология изготовления микрозеркального элемента средствами микроэлектроники с помощью изотропного плазменного травления кремния с лицевой стороны через маску из диэлектриков.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Захаров А. А. Разработка методики изготовления и расчет модели биморфного микроэлектромеханического балочного актюатора. // 12-я Всерос. межвузовая науч.-техн. конф. студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика-2005": Тез. докл. - М.: МИЭТ, 2005. - 128 с.
Merck, "Merck application booklet for HTR-3 polyimides - Product description of the Selectilux HTR Program", 1989. - 270 p.
Бессонов М. И., Котон М. М., Кудрявцев В. В., Лайус Л. А. Полиимиды - класс термостойких полимеров. - Л.: Наука, 1983. - 328 с.
Becker G. W., Braun D., Bottenbruch L. Hochleistungskunststoffe Polyarylate, Thermotrope, Polyester, Polyimide, Polyetherimide, Polyamidimide, Polyarylensulfide, Polysulfone, Polyetheretherketone. Kunststoffhandbuch Band 3/3, Technische Thermoplaste. Band-Herausgeber: Dr. Ludwig Bottenbruch, Krefeld. Dez. 1993. - 427 p.
Кутателадзе С. С. Основы теории теплообмена. Изд. 5-е перераб. и доп. - М.: Атомиздат, 1979. - 416 с.
Исаченко В. П., Осипова В. А., Сукомел А. С. Теплопередача: Учеб. для вузов. 4-е изд., перераб. и доп. - М.: Энергоиздат, 1981. - 416 с.
Варгафтик Н. Б. Справочник по теплофизическим свойствам газов и жидкостей. - М.: Физматгиз, 1963. - 708 с.
- Купить
