Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Модели коагуляции и механизм роста агломератов в чистых помещениях микроэлектроники
- Авторы
- Севрюкова Елена Александровна melaly@mail.ru, доцент, Национальный исследовательский университет"МИЭТ", Москва, Россия Тел. 8 (499) 720-87-33
- В разделе
- ОБЩАЯ ФИЗИКА
- Ключевые слова
- коагуляция / аэрозоль / модель / уравнение Смолуховского / агломерат / чистое помещение
- Год
- 2012 номер журнала 5 Страницы 37 - 41
- Индекс УДК
- УДК 53.083.8:53.089.5;539.1.074
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлено математическое описание распределения агломератов по их размерам, исследованию вариантов механизма столкновения частиц аэрозоля с различными массами, анализу моделей коагуляции на основе элементарного слияния двух сталкивающихся частиц аэрозоля при изменении параметров микроклимата в чистом помещении микроэлектроники.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Галкин В. А. Уравнение Смолуховского. - М.: Физматлит, 2001.
Волощук В. М., Седунов Ю. С. Процессы коагуляции в дисперсных системах. - Л.: Гидрометеоиздат, 1975.
Фукс Н. А. Механика аэрозолей. - М.: АН СССР, 1955.
Волощук В. М. Кинетическая теория коагуляции. - Л.: Гидрометеоиздат, 1984.
Стернин Л. Е., Шрайбер А. А. Многофазные течения газа с частицами. - М.: Машиностроение, 1994.
Сафронов В. С. Эволюция допланетарного облака и образование Земли и планет. - М.: Наука, 1969.
Dubovski P. B. // J. Phys. A: Math. 1999. V. 32. No. 5. P. 781.
Дубовский П. Б. // ЖЭТФ. 1999. Т. 116. № 2(8). С. 717.
Галкин В. А. // Метеорология и гидрология. 1983. № 12. С. 11.
- Купить
- 100.00 руб
