Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Оптические свойства пленок Ta2O5 в коротковолновой области спектра
- Авторы
- Вольпян Олег Дмитриевич o.d.volpian@rambler.ru, начальник лаборатории, ФГУП «НИИ "Полюс" им. М. Ф. Стельмаха», Москва, Россия Тел. 8 (495) 720-54-64
Обод Юрий Александрович , ведущий инженер, НПК "Фотрон-Авто", Москва, Россия
Яковлев Петр Петрович , ведущий научный сотрудник, ФГУП «НИИ "Полюс"» им. М. Ф. Стельмаха, Россия, 117342, Москва, ул. Введенского, 3. Тел. (495) 720-54-64
- В разделе
- ОБЩАЯ ФИЗИКА
- Ключевые слова
- магнетронное распыление / оптические свойства / пленки Ta2O5 / дисперсионная модель Друде-Лорентца
- Год
- 2012 номер журнала 4 Страницы 47 - 53
- Индекс УДК
- УДК 53.082.53:544.023.2
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Исследовались пленки Ta2O5, полученные магнетронным распылением Ta-мишени. Оптические параметры пленок определялись из диэлектрической функции, соответствующей модели Друде-Лорентца. Параметры модели вычислялись по результатам измерений коэффициента пропускания. В диапазоне длин волн l = 0,275-0,5 мкм показатели преломления и поглощения пленок изменяются в пределах 2,49-2,14 и (9,0-0,1)×10-2, соответственно. Установлено, что скорость роста пленок зависит от знака потенциала смещения и характера тока питания магнетрона. Ширина запрещенной зоны пленкообразующего материала лежит в пределах 4,02-4,13 эВ.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Parmertier R., Lemarchand F., Catheiliaud M., Lequime M., Amra C., Labat S., Bozzo S., Booqet F., Charaf A., Thomas O., Dominici C. // Appl. Optics. 2002. V. 41. No. 16. P. 3270.
Zhou J., Luo D., Li Y., Liu Z. // Trans. Nonferrous Met. Soc. China. 2007. V. 19. P. 359.
Szymanovsky H., Zabeida O., Klemberg-Sapieha J. E., Martinu L. // J. Vac. Shi. Techn. A: Vacuum, Surfaces and Films. 2005. V. 23. Issue 2. P. 241.
Ghodsi F. E., Tepehan F. Z., Tepehan G. G. // Thin Solid Films.1997. V. 295. Issues 1, 2. P. 11.
Buliŕ J., Jelink M., Mazetti E., Larciprete R. // Laser Physics. 1998. V. 8. No. 1. P. 352.
Malacara-Hernandes Z., Baumeister P. // Appl. Optics. 1980. V. 19. No. 11. P. 1737.
Hermann W. C. // J. Vac. Sci. Technol. 1981. V. 18. No. 3. P. 1303.
Lee Ch., Jun D.-J. // Thin Solid Films. 2005. V. 483. Issues 1-2. P. 130.
Song Y., Sakurai T., Maruta K., Matusita A., Matsumoto S., Saisho K., Kikuchi K. // Vacuum. 2000. V. 59. P. 755.
Вольпян О. Д., Яковлев П. П. // Оптический журнал. 2002. Т. 69. № 3. С. 29.
Guoping Ch., Ligzhen L., Suixin Zh., Haokang Zh. // Va-cuum. 1990. V. 41. Issues 4-6. P. 1204.
Rubio F., Albella J. M., Denis J., Martinez-Duart J. M. // J. Vac. Sci. Technol. 1982. V. 21. No. 4. P. 1043.
Hichwa B. P., Caskey G., Setz D., Harlow D. // J. Vac. Sci. Technol. A 5. 1987. No. 4. P. 1775.
Вольпян О. Д., Яковлев П. П., Мешков Б. Б., Обод Ю. А. // Оптический журнал. 2003. Т. 70. № 9. С. 56.
Lai F., Lin L., Gai R., Lin Y., Huang Z. // Thin Solid Films. 2007. V. 515. P. 7387.
Кошеверский Е. В., Левчук Е. А., Новопашин В. В., Яковлев П. П.// Лазерная техника и оптоэлектроника. 1993. Вып. 3-4. С. 55.
Вольпян О. Д., Обод Ю. А., Яковлев П. П., Мешков Б. Б.// Оптический журнал. 2000. Т. 67. № 10. С. 40.
Вольпян О. Д., Кузьмичев А. И. // Прикладная физика. 2008. № 3. С. 34.
Von Rottkay K., Rubin M. // Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1996. V. 426. P. 449.
Барыбин А. А., Быстров Ю. А., Комлев А. Е., Мезенов А. В., Шаповалов В. И. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. Вып. 2. С. 61.
Ferlauto A. S., Ferreira G. M., Pearce J. M., Wronski C. R., Collins R. W., Deng X., Ganguly G.// J. Appl. Physics. 2002. V. 92. No. 5. P. 2424.
- Купить
- 100.00 руб
