Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Автоматизированная диагностика плазмы магнетронного разряда по эмиссионным атомно-молекулярным спектрам
- Авторы
- Тройнов Владислав Игоревич , аспирант, Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Россия, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., 5
Градов Владимир Михайлович , профессор, МГТУ им. Н. Э. Баумана, Россия, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., 5. Тел. (499) 263-65-70
Зимин Александр Михайлович zimin@power.bmstu.ru, профессор, МГТУ им. Н. Э. Баумана, Россия, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., 5. Тел. (499) 263-65-70
Кривицкий Семен Евгеньевич , аспирант, МГТУ им. Н. Э. Баумана, Россия, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., 5. Тел. (499) 263-65-70
Серушкин Сергей Валерьевич , аспирант, МГТУ им. Н. Э. Баумана, Россия, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., 5. Тел. (499) 263-65-70
- В разделе
- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
- Ключевые слова
- спектральная диагностика плазмы / автоматизированный комплекс / магнетронный разряд / атомные и молекулярные спектры
- Год
- 2012 номер журнала 3 Страницы 44 - 49
- Индекс УДК
- УДК 533.9.08
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлен аппаратно-программный комплекс для исследования пространственных распределений излучательной способности плазмы, позволяющий проводить регистрацию и автоматизированное распознавание линий и систем молекулярных полос, а также компьютерную обработку спектров. Проведена идентификация молекулярных полос дейтерия для различных электронно-колебательно-вращательных переходов. Для разряда в планарном магнетроне оценены температуры возбуждения атомных уровней, поступательная, а также парциальные вращательные и колебательные температуры.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Данилин Б. С., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы. - М.: Радио и связь, 1982.
Каштанов П. В., Смирнов Б. М., Хипплер Р.// УФН. 2007. Т. 177. № 5. С. 473.
Елистратов Н. Г., Зимин А. М., Васильев Н. Н. и др.// ВАНТ. Сер. Термоядерный синтез. 2005. Вып. 1. С. 34.
Рогов А. В., Вуколов К. Ю.// Там же. С. 9.
Shi Z., Holbrook T., Denghan K., Brewer S., Sacks R.// Appl. Spectrosc. 1992. V. 46. No. 5. P. 749.
Umekawa S., Nitta A., Tanaka K., Kusabiraki M., Maekawa Y., Aozasa M.// Mem. Fac. Eng. 1995. V. 36. P. 13.
Nouvellon C., Konstantinidis S., Dauchot J. P., Wautelet M., Jouan P. Y., Ricard A., Hecq M.// J. Appl. Phys. 2002. V. 92. No. 1. P. 32
Kim Y. H., Cho W. J.// J. Korean Phys. Soc. 2004. V. 46. No. 4. P. 926.
Lopez J., Zhu W., Freilich A., Belkind A., Becker K.// J. Phys. D: Appl. Phys. 2005. V. 38. P. 1769.
Гончаров А. А., Евсюков А. Н., Костин Е. Г., Стеценко Б. В., Фролова Е. К., Щуренко А. И.// ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 8. С. 127.
Градов В. М., Зимин А. М., Кривицкий С. Е., Шумов А. В.// ВАНТ. Сер. Термоядерный синтез. 2009. Вып. 1. С. 64.
Зимин А. М., Шумов А. В., Кривицкий С. Е., Тройнов В. И.// Информационные технологии. 2011. № 6. С. 72.
Freund R. S., Schiavone J. A., Crosswhite H. M.// J. Phys. Chem. Ref. Data. 1985. V. 14. No. 1. P. 235.
Лебедев Ю. А., Мокеев М. В.// Физика плазмы. 2003. Т. 29. № 3. С. 251.
Очкин В. Н. Спектроскопия низкотемпературной плазмы. - М.: Физматлит, 2010.
Вероятности оптических переходов двухатомных молекул/ Под ред. Р. В. Хохлова. - М.: Наука, 1980.
Кузьменко Н. Е., Кузнецова Л. А., Кузяков Ю. Я. Факторы Франка - Кондона двухатомных молекул. - М.: Изд-во МГУ, 1984.
- Купить
- 100.00 руб
