Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Влияние условий напыления на микроструктуру пленок индия
- Авторы
- Климанов Евгений Алексеевич orion@orion-ir.ru, главный научный сотрудник, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Седнев Михаил Васильевич orion@orion-ir.ru, начальник участка, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Кардонов Никита Владимирович orion@orion-ir.ru, инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9
Ляликов Алексей Владимирович orion@orion-ir.ru, вед. инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9
Мезин Юрий Сергеевич orion@orion-ir.ru, ведущий инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9
Трошин Богдан Васильевич orion@orion-ir.ru, инженер-технолог 1-й категории, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9
Шаронов Юрий Павлович orion@orion-ir.ru, ведущий инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9
- В разделе
- ФОТОЭЛЕКТРОНИКА: ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА И ТЕХНОЛОГИИ
- Ключевые слова
- микроструктура / пленки / вакуумная камера / индий / остаточные газы
- Год
- 2012 номер журнала 3 Страницы 66 - 69
- Индекс УДК
- УДК 621.315.5
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены результаты исследования влияния чистоты исходной поверхности, давления остаточных газов в вакуумной камере, скорости напыления и других факторов на микрокристаллическую структуру слоев индия.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Petrov I., Barna P. B., Haltman L., Green J. E. // J. Vac. Sci. Technol. 2003. V. A21. P. 117.
Палатник Л. С., Фукс М. Я., Косевич В. М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. - М.: Наука, 1972.
Келли А., Гровс Г. Кристаллография и дефекты в кристаллах. - М.: Мир, 1974.
Болтарь К. О., Корнеева М. Д., Мезин Ю. С., Седнев М. В. // Прикладная физика. 2011. № 1. C. 96.
Батырев Н. И., Драчева Е. О., Климанов Е. А., Микертумянц А. Р., Серегина Н. Н.// Там же. 2008. № 2. C. 108.
- Купить
- 100.00 руб
