Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Исследование процесса ионно-лучевой полировки поверхности оптических деталей приборов
- Авторы
- Андрианова Наталья Николаевна andrianova_nn@mail.ru, научный сотрудник, НИИЯФ МГУ, Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, 1, стр. 2. Тел. (495) 939-41-67
Борисов Анатолий Михайлович , ведущий научный сотрудник, НИИЯФ МГУ, Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, 1, стр. 2. Тел. (495) 939-41-67
Боровская Виктория Владимировна , младший научный сотрудник, НИИЯФ МГУ, Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, 1, стр. 2. Тел. (495) 939-41-67
Машкова Евгения Сергеевна , ведущий научный сотрудник, НИИЯФ МГУ, Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, 1, стр. 2. Тел. (495) 939-41-67
- В разделе
- ЭЛЕКТРОННЫЕ И ИОННЫЕ ПУЧКИ
- Ключевые слова
- оптический ситалл / распыление / ионная полировка / рельеф поверхности
- Год
- 2012 номер журнала 2 Страницы 36 - 39
- Индекс УДК
- УДК 600:699
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Материалы конференций
- Аннотация
- Представлены результаты экспериментального исследования процесса ионно-лучевой обработки с целью полировки поверхности оптического ситалла. Облучение образцов проводили ионами Ar+ с энергиями 10-30 кэВ. Топографию поверхности исследовали с помощью зондового микроскопа FemtoScan. Показано, что азимутальное вращение облучаемого образца подавляет развитие волнообразного рельефа и дает эффект полировки - шероховатость поверхности уменьшается от исходного уровня Ra ~ 1 нм до 0,5 нм.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Carter G. // J. Phys. D: Applied Phys. 2001. V. 34. P. R1.
Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. / Под ред. Р. Бериша. Вып. II. - М.: Мир, 1986.
Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей 1986-1987 гг. / Сост. Е. С. Машкова. - М.: Мир, 1989.
Bradley R. M., Harper J. M. E. // J. Vac. Sci. Technol. 1988. V. A 6(4). P. 2390.
Chan W. L., Chason E. // J. Appl. Phys. 2007. V. 101. P. 121301.
Vollner J., Ziberi B., Frost F., Rauschenbach B. // Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2009. V. 1181. P. DD13-15.
Frost F., Fechner R., Ziberi B., Vollner J., Flamm D., Schindler A.// J. Phys.: Condens. Matter. 2009. V. 21. P. 224026.
Mashkova E. S., Molchanov V. A. Medium-energy ion reflection from solids. - Amsterdam: North-Holland, 1985.
Frost F., Ziberi B., Fechner R., Cornejo M., Vollner J., Schindler A., Rauschenbach B. // Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2009): Матер. 19-й Межд. конф. 21- 25 августа 2009 г. - М.: МАТИ, 2009. Т. 1. С. 195.
Vollner J., Ziberi B., Frost F., Rauschenbach B.// J. Appl. Phys. 2011. V. 109. P. 043501.
- Купить
- 100.00 руб
