Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Динамическая фокусировка квадрупольной линзовой системы для управления субмикронным ионным зондом при электростатическом сканировании
- Авторы
- Мельник Константин Игоревич ipfmail@ ipfcentr.sumy.ua, ведущий научный сотрудник, Институт прикладной физики НАН Украины, Украина, 40030, г. Сумы, ул. Петропавловская, 58. Тел. 38 (0542) 22-27-94
- В разделе
- ЭЛЕКТРОННЫЕ И ИОННЫЕ ПУЧКИ
- Ключевые слова
- зондоформирующая система / электростатическая сканирующая система / квадрупольная линза / динамическая фокусировка
- Год
- 2012 номер журнала 2 Страницы 73 - 78
- Индекс УДК
- УДК 537.534.3; 621.3.038.615
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Материалы конференций
- Аннотация
- В современных ионных микрозондах фокусировка осуществляется системами сильнодействующих квадрупольных магнитных линз, крайне чувствительными к углам входа пучка. Совместное влияние линз и электростатического сканера, расположенного между линзами, приводит к значительному уширению пучка в процессе сканирования за счет аберраций и выхода пучка из фокуса. Показано, в какой степени это уширение может быть компенсировано за счет динамической фокусировки линзовой системы при сканировании.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Watt F., van Kan J. A., Rajta I., Bettiol A. A., Choo T. F., Breese M. B. H., Osipowicz T. // Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B. 2003. V. 210. P. 14.
Dymnikov A. D., Glass G. A., Rout B.//Ibid. 2005. V. 239. P. 250.
van Kan J. A., Malar P., de Vera A. B., Chen X., Bettiol A. A., Watt F.//Ibid. Res. A. 2010. doi:10.1016/j.nima.2010.12.011.
Ponomarova A. A., Melnik K. I., Vorobjov G. S., Ponomarev A. G.//Ibid. Res. B. 2011. doi:10.1016/j.nimb.2011.02.025.
Dymnikov A., Hellborg R.// Ibid. Res. A. 1993. V. 330. P. 323.
Дымников А. Д., Осетинский Г. М. // Физика элем. частиц и ат. ядра. 1989. T. 20. № 3. С. 694; Sov. J. Part. Nucl. 1989. V. 20. P. 293.
Dymnikov A.D., Martinez G., Azbaid A. H. // Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. A. 1998. V. 403. P. 195.
Ponomarev A. G., Melnik K. I., Miroshnichenko V. I., Sto-rizhko V. E., Sulkio-Cleff B.//Ibid. Res. B. 2003. V. 201. P. 637.
- Купить
- 100.00 руб
