Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Синтез монокристаллов алмаза в СВЧ-плазме
- Авторы
- Большаков Андрей Петрович bolshak@ran.gpi.ru, старший научный сотрудник, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Ральченко Виктор Григорьевич , зав. лабораторией, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Польский Алексей Викторович , инженер, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Конов Виталий Иванович , руководитель Центра, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Ашкинази Евгений Евсеевич , старший научный сотрудник, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Хомич Андрей Александрович , аспирант, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Шаронов Геннадий Викторович , зав. лабораторией, Институт прикладных физических проблем имени А. Н. Севченко БГУ, Беларусь, 220108, Минск, ул. Курчатова, 7. Тел. +37529 755-38-17
Хмельницкий Роман Абрамович , старший научный сотрудник, Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, Россия, 119991, Москва, Ленинский просп., 53
Заведеев Евгений Викторович , научный сотрудник, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
Хомич Александр Владимирович , старший научный сотрудник, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Россия, 141190, Фрязино, пл. Введенского, 1
Совык Дмитрий Николаевич , младший научный сотрудни, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН Центра естественно-научных исследований, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. (499) 503-83-45
- В разделе
- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
- Ключевые слова
- монокристалл / алмаз / эпитаксия / химическое осаждение из газовой фазы / СВЧ-плазма / фотолюминесценция / катодолюминесценция
- Год
- 2011 номер журнала 6 Страницы 104 - 110
- Индекс УДК
- УДК 679.826; 621.793.162
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- В СВЧ-плазме (частота 2,45 ГГц) в смесях водород-метан на подложках из природных и синтетических монокристаллов алмаза с ориентацией (100) и размером до 5×5 мм выращены эпитаксиальные алмазные слои со скоростью осаждения до 40 мкм/ч. Структура и дефектно-примесный состав полученных монокристаллов толщиной до 600 мкм исследованы методами оптической спектроскопии, электронной и оптической микроскопии. Подтверждено высокое качество и чистота осажденных из плазмы алмазных слоев.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Sussmann R. S. CVD diamond for electronic devices and sensors. - Chichester: Wiley, 2009. P. 571.
Ральченко В. Г., Конов В. И. // Электроника: Наука, технологии, бизнес. 2007. № 4. C. 58.
Ральченко В. Г., Савельев А. В., Конов В. И., Маццео Г., Спациани Ф., Конте Г., Поляков В. И. // Квантовая электроника. 2006. Т. 36. № 6. С. 487.
Лукьянов А. Ю., Ральченко В. Г., Хомич А. В., Сердцев Е. В., Волков П. В., Савельев А. В., Конов В. И. // Там же. 2008. Т. 38. № 12. С. 1171.
Mildren R. P., Sabella A. // Opt. Lett. 2009. V. 34. No. 18. P. 2811.
Thumm M. // Diamond Relat. Mater. 2001. V. 10. P. 1692.
Turchetta S., Carrino L., Polini W. // Diamond Relat. Mater. 2005. V. 14. P. 641.
Martineau P. M., Gaukroger M. P., Guy K. B., Lawson S. C., Twitchen D. J., Friel I. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 2009. V. 21. art. 364205.
Balmer R. S., Brandon J. R. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 2009. V. 21. art. 3642211.
Mokuno Y., Chayahara A., Soda Y., Yamada H., Horino Y., Fujimori N. // Diamond Relat. Mater. 2006. V. 15. P. 455.
Алтухов А. А., Вихарев А. Л., Горбачев А. М., Духновский М. П. и др. // Физика и техника полупроводников. 2011. Т. 45. № 3. С. 403.
Muchnikov A. B., Vikharev A. L., Gorbachev A. M., Radishev D. B., Blank V. D., Terentiev S. A. // Diamond Relat. Mater. 2010. V. 19. P. 432.
Сергейчев К. Ф., Лукина Н. А. // Прикладная физика. 2010. № 6. С. 44.
Calvani P., Rossi M. C., Conte G., Carta S., Giovine E., Pasciuto B., Limiti E., Bolshakov A., Ralchenko V., Sharonov G. // Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2010. V. 1203. P. 185.
Шаронов Г. В., Большаков А. П., Ральченко В. Г., Казючиц Н. М., Петров С. А. // Журнал прикладной спектроскопии. 2010. Т. 77. № 5. C. 714.
Tallaire A., Achard J., Silva F., Sussmann R. S., Gicquel A., Rzepka E. // Phys. stat. sol. (a). 2004. V. 201. No. 11. P. 2419-2424.
www.cvd-diamond.ru
Yan C., Vohra Y. K., Mao H., Hemley R. J. // Proc. Nat. Acad. Sci. 2002. V. 99. No. 20. Р. 12523.
Clark C. D., Davey S. T. // J. Phys. C.: Solid State Phys. 1984. V. 17. P. 1127.
Zaitsev A. M. Optical Properties of Diamond: A Data Handbook - Berlin: Springer, 2001.
Dean P. J., Lightowlers E. C., Wight D. R. // Phys. Rev. A. 1965. V. 140. P. 352.
- Купить
