Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Модификация поверхностного слоя металлической подложки при газоразрядном напылении пленок цирконата титаната свинца
- Авторы
- Новиковский Николай Михайлович novnim@ip.rsu.ru, канд. физ.-мат. наук; заведующий лабораторией рентгеноспектрального анализа, Южный федеральный университет (ЮФУ); НИИ физики ЮФУ, г. Ростов-на-Дону, Россия Тел. 8 (863) 243-48-16
Пономаренко Валерий Олегович berserk2007@yandex.ru, аспирант, факультет физики, Южный федеральный университет, г. Ростов-на-Дону, Россия
Разномазов Валерий Михайлович raznomazov_vm@mail.ru, канд. физ.-мат. наук, младший научн. сотрудник, Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, г. Ростов-на-Дону, Россия
Сарычев Дмитрий Алексеевич raznomazov_vm@mai.ru, канд. техн. наук, заведующий отделом, Научно-исследовательский институт физики Южного федерального университета, г. Ростов-на-Дону, Россия
Зинченко Сергей Павлович kovtun.ap@mail.ru, канд. физ.-мат. наук, старший научн. сотрудник, Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону, Россия
Ковтун Анатолий Павлович kovtun.ap@mail.ru, канд. физ.-мат. наук, старший научн. сотрудник, Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону, Россия
Толмачев Геннадий Николаевич tolm@ip.rsu.ru, канд. физ.-мат. наук, заведующий отделом, Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону, Россия
- В разделе
- МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ
- Ключевые слова
- тонкие пленки / рентгеноспектральный спектральный анализ / текстура поверхности / модификация поверхности / газовый разряд
- Год
- 2011 номер журнала 3 Страницы 54 - 58
- Индекс УДК
- УДК 543.082/.084:54-14;541.12.011.3.082/.084
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Методом рентгенофлуоресцентного анализа при угле скользящего падения обна-ружено, что на начальном этапе газоразрядного напыления ЦТС (Pb-Zr-Ti-O)-пленки на нержавеющую сталь имеет место исчезновение изначально существовавшей поверхностной мозаики (текстуры) подложки. Обнаружено, что на начальном этапе состав растущей в камере газового разряда ЦТС-пленки по поверхности нержавеющей стали на начальном этапе пространственно неоднороден: титан осаждается на ровную часть (зеркальную для рентгеновского излучения) поверхности подложки, а свинец и цирконий осаждаются в других местах. С увеличением времени напыления на подложку из нержавеющей стали элементный состав пленки ЦТС меняется и стремится к элементному составу распыляемой ЦТС-мишени.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Бирюков С. В., Головко Ю. И., Масычев С. И., Мухортов В. М., Шелепо А. П. Исследование пьезоактивности тонких пленок цирконата-титаната свинца // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 8. С. 90-92.
Сигов А. С., Мишина Е. Д., Мухортов В. М. Тонкие сегнетоэлектрические пленки: получение и перспективы интеграции // ФТТ. 2010. Т. 52. Вып. 4. С. 709-717.
Есипов Ю. В., Мухортов В. М. Интегральные датчики динамической деформации на основе тонких сегнетоэлектрических пленок для мониторинга сложных механических систем // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 1. С. 82-85.
Козаков А. Т., Мухортов В. М., Кузьменко Г. И., Дудкевич В. П. Состав поверхности металлической подложки из нержавеющей стали и адгезия пленки Pb(Zr,Ti)O3 при ионно-плазменном осаждении // Поверхность. Физика, химия, механика. 1988. № 12. С. 121-125.
Головко Ю. И., Мухортов В. М., Юзюк Ю. И. и др. Структурные фазовые переходы в наноразмерных сегнетоэлектрических пленках титаната бария-стронция// ФТТ. 2008. Т. 50. Вып. 3. С. 467-471.
Афросимов В. В., Ильин Р. Н., Карманенко С. Ф., Сахаров В. И., Серенков И. Т. Влияние свойств подложек на морфологию нанометровых пленок BaxSr1-xTiO3 // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 3. С. 1070-1075.
Ковтун А. П., Толмачев Г. Н., Пономаренко В. О., Константинов Г. М. Особенности поведения кристаллических подложек при газоразрядном напылении пленок // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2009. Т. 75. № 11. С. 34-38.
Зинченко С. П., Ковтун А. П., Толмачев Г. Н. О текущем контроле роста пленок цирконата-титаната свинца в камере газового разряда // ПЖТФ. 2010. Т. 36. Вып. 10. С. 66-73.
Разномазов В. М., Пономаренко В. О, Новиковский Н. М., Ковтун А. П., Ведринский Р. В., Величко Ю. И. Рентгенофлуоресцентный спектрометр с полным внешним отражением первичного излучения для исследования кинетики напыления тонких пленок // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2010. № 2. C. 33-38.
Физические величины: Справочник. - М.: Энергоатомиздат. 1991.
New metallic surface treatment device developed in Russia// Materials Performance. July 2002. Р. 60, 61.
- Купить
