Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Изменение процесса структурообразования, фазового состава и механических свойств ионно-плазменных пленок TiN под влиянием тока дуги
- Авторы
- Каменева Анна Львовна kameneva@pstu.ru, канд. техн. наук, доцент, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет", г. Пермь, Россия
- В разделе
- МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ
- Ключевые слова
- процесс структурообразования / фазовый состав / механические свойства / ионно-плазменные пленки TiN / электродуговое испарение
- Год
- 2011 номер журнала 2 Страницы 60 - 70
- Индекс УДК
- УДК 539.23:621.793.1
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Выявлено, что с увеличением тока дуги с 80 до 100 А максимальная температура пленки и скорость ее нагрева смещаются в область больших значений: 755 К и 15,2 К/мин, соответственно. Показано, что при повышении технологических, температурных условий и скорости формирования пленки очередность стадий ее формирования с основной кубической фазой (111)TiN, объемная доля которой уменьшается при многократном росте объемной доли гексагональной фазы TiN0,3, не изменяется. Установлено, что с ростом толщины пленки неоднозначно изменяются степень преимущественной ориентации зерен и структурные характеристики пленки, оказывающие влияние на ее напряженное состояние. Установлены температурные условия структурных переходов от глобулярной, зернистой до упорядоченной столбчатой подструктуры пленки.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Каменева А. Л., Александров Д. В., Белянин А. Ф., Житковский В. Д., Самойлович М. И. Структурные и морфологические особенности упрочняющих покрытий, получаемых методами магнетронного распыления и вакуумного испарения // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: Матер. II Межрегион. семинара. - Калуга, 2004. С. 126-168.
Каменева А. Л. Закономерности структурообразования наноструктурированных покрытий на основе сложных нитридов, получаемых вакуумно-дуговым испарением // Конструкции из композиционных материалов. 2007. № 3. С. 49.
Анциферов В. Н., Каменева А. Л., Пименова Н. В. Изучение структуры и формирования наноразмерных ионно-плазменных покрытий Ti-Zr-N, Ti-Al-N, Ti-Zr-О-N, Ti-Al-О-N и Ti-B-Si-N // Высокие технологии в промышленности России: Матер. XIII Междунар. науч.-техн. конф. - М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ "Техномаш", 2007. С. 328-335.
Анциферов В. Н., Каменева А. Л., Сапегин Г. А., Каменева Д. В., Баяндина М. В. Установление корреляционной связи между температурными условиями формирования ионно-плазменных пленок и процессом их структурообразования // Вестник Магнитогорского технического университета им. Г. И. Носова. № 2 (30). Июнь. - Магнитогорск, 2010. С. 61-68.
Kameneva A. L. Forming Stages of Polycrystalline Tin Films Depending on the Nitrogen Concentration in Mixed Gas//Journal of Materials Sciences and Applications. January 2011. V. 2. No. 1. P. 6-13.
Kameneva A. L., Soshina T. O., Guselnikova L. N. An influence of a substrate voltage bias and temperature conditions on structure and phase modification in single-component ion-plasmas' films//e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 11 February 2011. V. 9. P. 34-39.
- Купить
