Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Структурные и фазовые превращения в пленках в зависимости от положения подложки в потоке плазмообразующих частиц
- Авторы
- Каменева Анна Львовна kameneva@pstu.ru, канд. техн. наук, доцент, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет", г. Пермь, Россия
- В разделе
- МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ КОМПОЗИЦИОННЫХ МАТЕРИАЛОВ
- Ключевые слова
- процесс структурообразования / фазовый состав / механические свойства / ионно-плазменные пленки TiN / электродуговое испарение / расстояние катод-подложка
- Год
- 2011 номер журнала 1 Страницы 51 - 62
- Индекс УДК
- УДК 539.23:621.793.1
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Показано, что увеличение расстояния катод-подложка не изменяет направления преимущественной кристаллографической ориентации поликристаллической составляющей и фазового состава пленки. Выявлена зависимость стадий формирования и структурного состояния формируемых пленок от положения подложки в потоке пленкообразующих частиц и температурных условий формирования. Показано, что вне зависимости от положения подложки в потоке пленкообразующих частиц для протекания процесса структурообразования поликристаллической пленки необходима строгая очередность стадий формирования, которые зависят не только от температур пленки в процессе формирования, но и от скорости ее нагрева. Установленная зависимость технологических характеристик процесса осаждения, температурных и структурных характеристик пленки позволит управлять и контролировать процесс структурообразования пленки, минимизировать или исключить ее дефектность, контролировать структуру, следовательно, управлять свойствами и достигать необходимого качества пленки.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Валуев В. П., Лисенков А. А., Рыбников С. И., Sanchugov E. L. Нанесение покрытий из металлической плазмы вакуумно-дугового разряда//Инструмент и технологии. 2009. № 30-31. С. 56-66.
Каменева А. Л., Гусельникова Л. Н., Сошина Т. О. Влияние концентрации азота в газовой смеси на структурные и фазовые изменения в пленках нитрида титана в процессе электродугового испарения//Матер. ХVI Междунар. науч.-техн. конф. "Высокие технологии в промышленности России". 9-11 сент. - М.: Изд-во ОАО ЦНИТИ "Техномаш", 2010. С. 402-410.
- Купить
