Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Формирование индиевых микроконтактов ионным травлением
- Авторы
- Корнеева Марина Дамировна orion@orion-ir.ru, первый зам. гендиректора, ГНЦ РФ ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9. Тел. (499) 374-88-41
Седнев Михаил Васильевич orion@orion-ir.ru, начальник участка, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Болтарь Константин Олегович orion@orion-ir.ru, начальник НТК, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9. Тел. (495) 374-81-30
Мезин Юрий Сергеевич orion@orion-ir.ru, ведущий инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111402, Москва, ул. Косинская, 9
- В разделе
- ФОТОЭЛЕКТРОНИКА: ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА И ТЕХНОЛОГИЯ
- Ключевые слова
- микроконтакт / травление / напыленный слой / индий / ионно-лучевой метод
- Год
- 2011 номер журнала 1 Страницы 96 - 100
- Индекс УДК
- УДК 621.315.5:621.794.4
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Представлены результаты исследования процессов ионно-лучевого и высокочастотного катодного травления напыленных слоев индия для формирования микроконтактов. Изготовлены матрицы микроконтактов высотой более 10 мкм с шагом 28 мкм формата 384×288. Ширина канавки, разделяющей индиевые микроконтакты, не превышает 5 мкм.
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Болтарь К. О., Бурлаков И. Д., Седнев М. В. Способ сборки фотоприемного устройства. Патент 2308788 РФ от 20.01.06.
Jutao Jiang, Stanley Tsao et al. Fabrication of indium bumps for hybrid FPA applications// Infrared Physics and Technology. 2004. V. 45. P. 143.
Клименко А. Г. и др. Особо пластичные индиевые микростолбы для матричных ФПУ на CdHgTe// Автометрия. 1998. № 4. С. 105.
Young-Ho Kim, Jong-Hwa Choi, Kang-Sik Choi, Hee Chul Lee, Choonh-Ki Kim. New Reflow Process for Indium Bump// Proc. of SPIE.1996. V. 306. P. 60.
Johann Ziegler, Markus Finck, Rolf Kruger Thomas Simon, Joachim Wendler. Long Linear HqCdTe arrays with superior temperature-cycling-reliabyti// Proceedings of SPIE. 2001. V. 4028. P. 234.
Tissot I. L. etc. Collective flip-chip technology for CdHgTe I.R.F.R.A.// Proc. SPIE. 1996. V. 2894. P. 115.
Ахметов Н. С. Общая и неорганическая химия. - М.: Высш. шк., 1981.
Химия и технология редких и рассеянных элементов: Учеб. пособие для вузов. Изд. 2-е, перераб. и доп. - М.: Высш. шк., 1976.
Ивановский Г. Ф., Петров В. И. Ионно-плазменная обработка материалов. - М.: Радио и связь, 1986.
- Купить
- 100.00 руб
