Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Эпитаксиальный синтез алмазных слоев на монокристаллической алмазной подложке в факельном СВЧ-плазмотроне
- Авторы
- Сергейчев Константин Фёдорович kserg@fpl.gpi.ru, заведующий лабораторией, Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. 8 (499) 503-82-39
Лукина Наталья Александровна , научный сотрудник, Институт общей физики им. А. М. Прохорова, Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38. Тел. 8 (499) 503-82-39
- В разделе
- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
- Ключевые слова
- СВЧ-разряд / алмаз / пленка / микроскопия / плазма
- Год
- 2010 номер журнала 6 Страницы 44 - 49
- Индекс УДК
- УДК 537.9
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Получен эпитаксиальный рост алмазной монокристаллической пленки в факельном СВЧ-разряде, возбуждаемом магнетроном бытовой микроволновой печи мощностью ≤ 1 кВт, в газовой смеси аргон-водород с высоким содержанием метана (до 25 % к водороду) при атмосферном давлении на подложке из синтетического монокристалла алмаза (HPHT) с ориентацией (100) и размером ~ 4×4 мм. Показано, что разряд с диаметром факела ~2 мм и концентрацией СВЧ-мощности, поглощаемой в объеме факела >103 Вт/см3, эффективен для эпитаксиального наращивания слоев на монокристаллах синтетического алмаза. Структура осажденной пленки толщиной до 10 мкм качественной морфологии исследована оптическим микроскопом, а также методами комбинационного рассеяния и растровой электронной микроскопии.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Рич В. И., Черненко М. Б. Неоконченная история искусственных алмазов. - М.: Наука, 1976.
Spitsyn B. V., Bouilov L. L., Derjaguin B. V.//J. Cryst. Growth. 1981. V. 52. P. 219.
Спицын Б. В., Алексенко А. Е. Развитие работ по химической кристаллизации алмаза в ИХФ РАН//Современные проблемы физической химии. - М.: Граница, 2005. С. 350-368.
Спицын Б. В., Алексенко А. Е., Ботев А. А., Буйлов Л. Л. и др. Алмазные пленки, пластины и монокристаллы: синтез из газовой фазы, свойства, применение/Сб. Исследование углерода - успехи и проблемы [сост. Т. А. Сладкова]; [отв. ред. Ю. Н. Бубнов]. - М.: Наука, 2007.
Bachman P. K. In Handbook of Industrial Diamonds and Diamond Films. CRC Press. 1997. Chapter 21. P. 821-850.
Ральченко В., Конов В. CVD-алмазы: применение в электронике/Электроника: Наука, технологии, бизнес, 2007. № 4. C. 58-67.
www.sekitech.biz
Achard J., Silva F., Tallaire А., Bonnin X., Lombardi G., Hassouni K., Gicquel A.//J. Phys. D: Appl. Phys. 2007. V. 40. Р. 6175-6188.
Сергейчев К. Ф., Лукина Н. А., Большаков А. П., Ральченко В. Г. и др.//Прикладная физика. 2008. № 6. С. 39-43.
Сергейчев К. Ф., Лукина Н. А., Большаков А. П., Арутюнян Н. Р., Власов И. И., Ральченко В. Г.//Прикладная физика. 2009. № 6. С. 107-113.
Ральченко В. Г., Савельев А. В., Попович А. Ф., Власов И. И. и др.//Микроэлектроника. 2006. Т. 35. № 4. С. 243-248.
Zhou H., Watanabe J., Miyake M. et al.//Diamond Relat. Mater. 2007. V. 16. P. 675-678.
Goyettey A. N., Lawler J. E., Anderson L. W. et al.// Plasma Sources Sci. Technol. 1998. V. 7. P. 149-153.
Gorbachev A. M., Muchnikov A. B., Vikharev A. L. et al.// Proc. VI Int. Workshop "Microwave Discharges: Fundamental and applications", Sept. 11-15, 2006, Zvenigorod, Russia / Ed. Yu. A. Lebedev. - Moscow: Yanus-K. P. 303-308.
- Купить
