Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Создание сверхчистой вакуумной технологической среды в электронном производстве
- Авторы
- Васин Владимир Анатольевич vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru, доцент, Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), МИЭМ, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3 Тел. (8-495) 235-64-35
Ивашов Евгений Николаевич vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru, профессор, Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), МИЭМ, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3 Тел. (8-495) 235-64-35
Кузнецов Павел Сергеевич vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru, аспирант, Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), МИЭМ, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3 Тел. (8-495) 235-64-35
Степанчиков Сергей Валентинович vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru, доцент, Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), МИЭМ, Россия, 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3 Тел. (8-495) 235-64-35
- В разделе
- ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА
- Ключевые слова
- сверхчистая вакуумная технологическая среда / вакуумное оборудование / привносимая дефектность / топология микросхем
- Год
- 2010 номер журнала 5 Страницы 122 - 126
- Индекс УДК
- УДК 533.5:62-982
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены тенденции развития современного вакуумного оборудования и проблемы создания сверхчистой вакуумной технологической среды в электронном производстве. Приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и внутрикамерных устройств без узлов трения с использованием для формирования усилий и перемещений управляемой упругой деформации. Такой подход обеспечивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Вакуумная техника: Справочник/Е. С. Фролов, В. Е. Ми-найчев, А. Т. Александрова и др. - М.:. Машиностроение, 1992. - 480 с.
Александрова А. Т. Теоретические основы расчета и конструирования функциональных устройств и систем оборудования высоких вакуумных технологий на основе приводов управляемой упругой деформации: Учеб. пособие. - М.: Московский государственный институт электроники и математики. 2003. - 48 с.
Александрова А. Т., Васин В. А., Горюнов А. А. и др. Патент 2206913 "Устройство позиционирования и привод вращения для него" по заявке № 2001118067/28 от 03.07.2001; Опубл. 20.06.2003 в Бюл. № 17.
Александрова А. Т., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. и др. А. с. 1366389 "Механизм для перемещения и ориентации деталей" по заявке № 4090039/31 от 28.05.1986; Опубл. 30.10.1985 в Бюл. № 40.
Александрова А. Т., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. и др. А. с. 1187980 "Исполнительный орган манипулятора" по заявке № 3780740/25 от 10.05.1984; Опубл. 15.01.1988 в Бюл. № 2.
- Купить
