Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Неохлаждаемое микроболометрическое фотоприемное устройство формата 320×240 на основе золь-гель VOx
- Авторы
- Демьяненко Михаил Алексеевич dem_yanenko@thermo.isp.nsc.ru, старший научный сотрудник, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Ак. Лаврентьева, 13. Тел.: (383) 333-10-81. Факс: (383) 330-90-29
Фомин Борис Иванович dem_yanenko@thermo.isp.nsc.ru, ведущий научный сотрудник, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Ак. Лаврентьева, 13. Тел.: (383) 333-10-81. Факс: (383) 330-90-29
Васильева Людмила Львовна dem_yanenko@thermo.isp.nsc.ru, инженер, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Ак. Лаврентьева, 13. Тел.: (383) 333-10-81. Факс: (383) 330-90-29
Волков Сергей Алексеевич dem_yanenko@thermo.isp.nsc.ru, инженер, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Ак. Лаврентьева, 13. Тел.: (383) 333-10-81. Факс: (383) 330-90-29
Марчишин Игорь Владимирович dem_yanenko@thermo.isp.nsc.ru, старший научный сотрудник, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Ак. Лаврентьева, 13. Тел.: (383) 333-10-81. Факс: (383) 330-90-29
Есаев Дмитрий Георгиевич dem_yanenko@thermo.isp.nsc.ru, старший научный сотрудник, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Ак. Лаврентьева, 13. Тел.: (383) 333-10-81. Факс: (383) 330-90-29
Овсюк Виктор Николаевич dem_yanenko@thermo.isp.nsc.ru, профессор, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр-т Ак. Лаврентьева, 13. Тел.: (383) 333-10-81. Факс: (383) 330-90-29
Дшхунян Валерий Леонидович irmatrix@angstrem.ru, генеральный директор, ОАО "Ангстрем", Россия, 124460, Москва, Южная промзона, проезд № 4806, д. 4, стр. 3. Тел.: (499) 720-82-78. Факс: (499) 731-32-70
Володин Евгений Борисович irmatrix@angstrem.ru, главный специалист, ОАО "Ангстрем", Россия, 124460, Москва, Южная промзона, проезд № 4806, д. 4, стр. 3. Тел.: (499) 720-82-78. Факс: (499) 731-32-70
Ермолов Александр Викторович irmatrix@angstrem.ru, главный специалист, ОАО "Ангстрем", Россия, 124460, Москва, Южная промзона, проезд № 4806, д. 4, стр. 3. Тел.: (499) 720-82-78. Факс: (499) 731-32-70
Усов Павел Павлович irmatrix@angstrem.ru, главный специалист, ОАО "Ангстрем", Россия, 124460, Москва, Южная промзона, проезд № 4806, д. 4, стр. 3. Тел.: (499) 720-82-78. Факс: (499) 731-32-70
Чесноков Владимир Петрович irmatrix@angstrem.ru, главный специалист, ОАО "Ангстрем", Россия, 124460, Москва, Южная промзона, проезд № 4806, д. 4, стр. 3. Тел.: (499) 720-82-78. Факс: (499) 731-32-70
Четверов Юрий Степанович ysc150@yandex.ru, начальник отдела, ОАО «ЦНИИ "Циклон"», Россия, 107497, Москва, Щелковское шоссе, 77. Тел.: (495) 785-51-81, доб. 44-10. Факс: (495) 460-34-01
Кудрявцев Павел Николаевич ysc150@yandex.ru, ведущий инженер, ОАО «ЦНИИ "Циклон"», Россия, 107497, Москва, Щелковское шоссе, 77. Тел.: (495) 785-51-81, доб. 44-10. Факс: (495) 460-34-01
Здобников Александр Евгеньевич ysc150@yandex.ru, зам. генерального директора, ОАО «ЦНИИ "Циклон"», Россия, 107497, Москва, Щелковское шоссе, 77. Тел.: (495) 785-51-81, доб. 44-10. Факс: (495) 460-34-01
Игнатов Александр Александрович ysc150@yandex.ru, зам. генерального директора, ОАО «ЦНИИ "Циклон"», Россия, 107497, Москва, Щелковское шоссе, 77. Тел.: (495) 785-51-81, доб. 44-10. Факс: (495) 460-34-01
- В разделе
- ФОТОЭЛЕКТРОНИКА: ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА И ТЕХНОЛОГИЯ
- Ключевые слова
- микроболометры / оксид ванадия / золь-гель / мультиплексор / неохлаждаемый / инфракрасный / приемник
- Год
- 2010 номер журнала 4 Страницы 124 - 130
- Индекс УДК
- УДК 535.231.6
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Разработана технология изготовления неохлаждаемых микроболометрических фотоприемных устройств формата 320×240, чувствительных в спектральном диапазоне 8-14 мкм и состоящих из матричного микроболометрического приемника мостикового типа, термоэлектрического стабилизатора температуры и малогабаритного вакуумного корпуса, снабженного просветленным германиевым окном и газопоглотителем. Достигнута разность температур, эквивалентная шуму, менее 100 мК при угле зрения 60° и частоте кадров 50 Гц.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Рогальский А. Инфракрасные детекторы. - Новосибирск: Наука, 2003. - 636 с.
Howard P. E., Clarke J. E., Bradley M. G. Ionescu A. C., Li C. Progress in uncooled focal plane sensor technology at Boeing// Proc. SPIE. 2000. V. 4130. P. 168-174.
Blackwell R., Lacroix D., Bach T., Ishii J., Hyland S., Geneczko J., Chan S., Sujlana B., Joswick M. Uncooled VOx thermal imaging systems at BAE Systems// Ibid. 2008. V. 6940. P. 694021-1.
Fieque B., Robert P., Minassian C., Vilain M, Tissot J. L., Crastes A., Legras O., Yon J. J. Uncooled amorphous silicon XGA IRFPA with 17µm pixel-pitch for High End applications// Ibid. P. 69401X-1.
Овсюк В. Н., Шашкин В. В., Демьяненко М. А., Фомин Б. И., Васильева Л. Л., Соловьев А. П. Неохлаждаемые матричные микроболометрические приемники ИК-излучения на основе золь-гель-VOx// Прикладная физика. 2005. № 6. С. 114-117.
Dem'yanenko M. A., Fomin B. I., Ovsyuk V. N., Marchishin I. V., Parm I. O., Vasil'ieva L. L., Shashkin V. V. Uncooled 160×120 microbolometer IR FPA based on sol-gel VOx// Proc. SPIE. 2005. V. 5957. P. 59571R.
Чистохин И. Б., Демьяненко М. А. Определение тепловых параметров микроболометров из электрических измерений// Прикладная физика. 2006. № 1. С. 91-95.
Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. - М.: Мир, 1964. С. 505.
- Купить
