Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Устройство точного позиционирования для электронных микроскопов
- Авторы
- Васин Владимир Анатольевич vacuumwa@list.ru; vacuumwa@ya.ru, доцент, Московский государственный институт электроники и математики, Россия. 109028, Москва, Б. Трехсвятительский пер., 3. Тел.: (495) 235-64-35
- В разделе
- ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА
- Ключевые слова
- устройство точного позиционирования / трубчатые упругодеформируемые приводы / загрязнения электромагнитным фоном / микрочастицы износа
- Год
- 2010 номер журнала 4 Страницы 137 - 138
- Индекс УДК
- УДК 621.025.83
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Приведено устройство точного позиционирования для электронных микроскопов, не создающее электромагнитных помех, которое может быть использовано в ряде биологических и других исследований, требующих полного отсутствия данных помех. При этом устройство обеспечивает приемлемую точность позиционирования, сравнимую с пьезомеханическими системами.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
- Пат. 2206913 Устройство позиционирования и привод вращения для него; Заявка № 2001118067/28 от 03.07.2001/ А. Т. Александрова, В. А. Васин, А. А. Горюнов и др.
- Купить